面銅探針組件：SRP-4探針，臺式測厚儀CMI760/CMI563，也就是SRP-4探頭前端的水晶頭。
英國Oxford牛津SRP-4面銅探頭（CMI700/CMI600/CMI563/）
英國Oxford牛津SRP-4面銅探頭（CMI700/CMI600/CMI563/）
SRP-4面銅探頭測試技術(shù)參數(shù)
于Oxford牛津CMI760(CMI700)座臺式孔面銅測厚儀
l 準確度：5%，參考標準片
l 精確度：化學(xué)銅：標準差0.2 %，電鍍銅：標準差0.3 %
l 分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils<1mil
l 厚度測量范圍：化學(xué)銅：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）
電鍍銅：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）
l 線性銅線寬范圍：203μm–7620μm（8mil–300mil
l 工作特點：應(yīng)用*的微電阻測試技術(shù)。系繩式探頭由四支探針組成，AB為正極CD為負極；測量時，電流由正極到負極會有微小的電阻，通過電阻值和厚度值的函數(shù)關(guān)系準確可靠得出表面銅厚，不受絕緣板層和線路板背面銅層影響。耗損的SRP-4探針可自行更換，為牛津儀器產(chǎn)品。探頭的照明功能和保護罩方便測量時準確定位。
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