基于的MEMS硅微加工技術(shù),壓阻式加速度傳感器具有體積小、低功耗等特點(diǎn),易于集成在各種模擬和數(shù)字電路中,廣泛應(yīng)用于汽車(chē)碰撞實(shí)驗(yàn)、測(cè)試儀器、設(shè)備振動(dòng)監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。7701A4高精度微型加速度傳感器
電容式加速度傳感器是基于電容原理的極距變化型的電容傳感器。電容式加速度傳感器/電容式加速度計(jì)是對(duì)比較通用的加速度傳感器。在某些領(lǐng)域*,如安全氣囊,手機(jī)移動(dòng)設(shè)備等。電容式加速度傳感器/電容式加速度計(jì)采用了微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝,在大量生產(chǎn)時(shí)變得經(jīng)濟(jì),從而保證了較低的成本。
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伺服式加速度傳感器是一種閉環(huán)測(cè)試系統(tǒng),具有動(dòng)態(tài)性 能好、動(dòng)態(tài)范圍大和線性度好等特點(diǎn)。其工作原理,傳感器的振動(dòng)系統(tǒng)由 "m-k”系統(tǒng)組成,與一般加速度計(jì)相同,但質(zhì)量m上還接著一個(gè)電磁線圈,當(dāng)基座上有 加速度輸入時(shí),質(zhì)量塊偏離平衡位置,該位移大小由位移傳感器檢測(cè)出來(lái),經(jīng)伺服放大器 放大后轉(zhuǎn)換為電流輸出,該電流流過(guò)電磁線圈,在磁鐵的磁場(chǎng)中產(chǎn)生電磁恢復(fù)力,力圖使質(zhì)量塊保持在儀表殼體中原來(lái)的平衡位置上,所以伺服加速度傳感器在閉環(huán)狀態(tài)下工作。由于有反饋?zhàn)饔?,增?qiáng)了抗干擾的能力,提高測(cè)量精度,擴(kuò)大了測(cè)量范圍,伺服加速度 測(cè)量技術(shù)廣泛地應(yīng)用于慣性導(dǎo)航和慣性制導(dǎo)系統(tǒng)中,在高精度的振動(dòng)測(cè)量和標(biāo)定中也有應(yīng)用。
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