制冷循環(huán)冷水機使用范圍：對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等。
產(chǎn)品概況：
1、導熱液體溫度可調(diào)節(jié)
2、采用阿斯帕拉、丹弗斯、美優(yōu)樂、谷輪等品牌壓縮機，性能穩(wěn)定，可持續(xù)工作
3、人性化設計，靈活更方便
4、微電腦溫度控制器，溫度數(shù)字顯示，調(diào)節(jié)單位0.1度，溫度范圍5度~35度可調(diào)
5、采用熱氣旁通，節(jié)約能源，提高控制精度
6、多種故障報警（超溫報警、傳感器報警、高壓報警、壓縮機過熱報警）
7、開機延時保護
8、所有部件均安全接地
9、高性能循環(huán)泵，可保證每天連續(xù)24小時運行
制冷循環(huán)冷水機技術(shù)指標：
型號 | LX-10A | ||
溫度范圍 | -25.0～40.0℃ | ||
溫控精度 | ±1℃ | ||
制冷量 | 20℃ | 10000W | |
0℃ | 7500W | ||
-20℃ | 3500W | ||
泵流量 | 50L/min 1.8bar | ||
安全保護 | 具有自我診斷功能；冷凍機過載保護；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能 | ||
冷卻方式 | 水冷或風冷 | ||
溫度探頭 | PT100 控制外圍設備 | ||
加注冷媒 | R404A | ||
整機重量 | 165kg | ||
電源 | AC 220/380V 50/60HZ | ||
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