概述：主要由兩只石英加熱缸，兩套溫度控制系統(tǒng)（石英缸數量可根據客戶要求而定），兩只快速噴淋排水槽(QDR)，兩套噴淋控制系統(tǒng)，一只氫氟酸槽，一只一階溢流槽，一只三階溢流槽，兩套吸酸排放器等構成。
技術特點
可清洗片子尺寸：Φ300mm。
槽體數量可根據用戶工藝要求配置。
清洗槽加熱溫度可達200℃。
快速排放沖洗槽排放，沖洗次數可設置。
槽體結構可選單片盒，或雙片盒結構。
槽內傳輸有手動、自動方式可選。
可選配液體循環(huán)系統(tǒng)。
具有故障提示，報警等功能。
主要技術指標
□ 去離子水壓力：0.25~0.3Mpa
□ 排水口：Φ60mm
□ 酸液排放口：1/2″PFA管
□ 氮氣壓力：0.25~0.3MPa
□ 氮氣接口管徑：3/8″PE管
□ 壓縮空氣壓力：0.25~0.3 Mpa
□ 壓縮空氣接口：3/8″PE管
□ 電源：AC380V±AC38V (三相五線)
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