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P-300F ,P-300BV Pro ALD 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2021/7/14 8:59:09
  • 訪問(wèn)次數(shù)269
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司,經(jīng)過(guò)十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀,可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù),研發(fā)設(shè)計(jì)組裝:紫外臭氧清洗機(jī)(UV清洗機(jī)),準(zhǔn)分子清洗機(jī),等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備,擁有自主品牌及注冊(cè)商標(biāo)。 同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠(chéng)信的企業(yè)文化,為廣大中國(guó)及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有: 德國(guó)ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機(jī),電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī),紫外光刻機(jī),微納3D打印機(jī),德國(guó)Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積,英國(guó)HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī),微波離子沉積機(jī)MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機(jī),電子顯微鏡, 德國(guó)Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國(guó)THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,美國(guó)Sonix超聲波顯微鏡, 德國(guó)耐馳Netzsch熱分析儀, 德國(guó)Optosol吸收率發(fā)射率檢測(cè)儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈,美國(guó)Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管,德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。 生命科學(xué)/生物醫(yī)療 產(chǎn)品主要有:PCR儀,核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測(cè)儀,電子顯微鏡,紫外設(shè)備,光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實(shí)驗(yàn)耗材等。 并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢(shì)為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。
電子顯微鏡
PICOSUN P-300F ,P-300BV Pro ALD 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī),襯底尺寸和類型 200 mm 晶圓 25 + 2片/批次 (標(biāo)準(zhǔn)間距)。
P-300F ,P-300BV Pro ALD 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī) 產(chǎn)品信息


PICOSUN P-300F Pro ALD
PICOSUN P-300BV Pro ALD


技術(shù)參數(shù)
。襯底尺寸和類型 200 mm 晶圓 25 + 2片/批次 (標(biāo)準(zhǔn)間距)
。150 mm晶圓50 + 2片/批次 (標(biāo)準(zhǔn)間距)
。100 mm晶圓50 + 2片/批次 (標(biāo)準(zhǔn)間距)

工藝溫度: 50 - 300 °C

基片傳送選件:

。 P-300F Pro: 27片晶圓盒對(duì)盒式全自動(dòng)裝載(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。
。P-300BV Pro: 52片晶圓盒對(duì)盒式全自動(dòng)裝載,用真空批量load lock實(shí)現(xiàn)

標(biāo)準(zhǔn) 。 P-300F Pro: SEMI S2 認(rèn)證
。P-300BV Pro: SEMI S2 認(rèn)證(認(rèn)證中)

前驅(qū)體

。液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源
。前驅(qū)源余量傳感器, 并提供清洗和裝源服務(wù)
。6根獨(dú)立源管線,最多加載8個(gè)前驅(qū)體源

重量: 820 kg

尺寸 :(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

選件: 集群工具, PICOFLOW™ 擴(kuò)散增強(qiáng)器, N2發(fā)生器,尾氣處理器,定制設(shè)計(jì),與工廠軟件連接服務(wù)。

驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn): 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 Al2O3 工藝,

其他工藝可具體協(xié)商:其他工藝、應(yīng)用具體驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)如
- 不均勻性
- 顆粒物含量
- 重金屬污染
- 電學(xué)性能

關(guān)鍵詞:傳感器
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