面精度保證反射鏡
面精度保證反射鏡的鍍膜是多層電介質(zhì)膜,入射角度是45°±3°,面型精度(鍍膜后)比以往的多層電介質(zhì)膜平面反射鏡(TFM)更高,然后由于使用了合成石英基板,基板變厚,基板的剛性也提高了,此款反射鏡非常適用于紫外激光或YAG激光各波長的高反射鏡。
注意:
用于45°以外的入射角度時,反射率有可能降低,
在設(shè)計波長以外的波長譜區(qū)使用時,反射率也有可能降低,
技術(shù)指標(biāo)的發(fā)射率是用P偏光和S偏光的反射率的平均值來表示的
多層電介質(zhì)膜的反射率波長特性隨入射光束的偏光狀態(tài)變化。
通用指標(biāo):
材質(zhì) | 合成石英 |
鍍膜 | 多層電介質(zhì)膜 |
入射角度 | 45°±3° |
鍍膜后面型精度 | λ/10 |
平行度 | <3′ |
表面質(zhì)量 | 10?5 |
有效直徑 | 外徑的80% |
反面 | 拋光面 |
產(chǎn)品外形圖:
面型精度數(shù)據(jù)(參考數(shù)據(jù))
?面型精度測量方法
使用Zygo激光干涉儀測量
?面型精度測量波長
632.8nm
?面型精度保證溫度
23℃±2℃
功能說明圖:
反射率波長特性(參考數(shù)據(jù))
HTFM-248
HTFM-266
HTFM-308
HTFM-355
重要信息:
優(yōu)化的基板材質(zhì)、厚度和鍍膜條件,是高面型精度的反射鏡。
這樣可以保證鍍膜后的面型精度為λ/10。
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