URE-2000 系列紫外單面光刻機(jī)
此系列包含六種型號：URE-2000A,URE-2000B,URE-2000/35,URE-2000/35A,URE-2000/25,URE-2000/17
URE-2000/600 紫外光刻機(jī)
1、設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)：
(1)光束口徑： 650mm×650mm
(2)有效曝光面積：600mm×600mm
(3)分辨力：≤3μm
(4)對準(zhǔn)精度：±1.5μm
(5)對準(zhǔn)顯微鏡中心距：75mm-600mm 可調(diào)
(6)掩模尺寸：650mm×650mm
(7)樣片尺寸：可適應(yīng)Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm
×600mm，厚度為 0.2mm～20mm 的多種規(guī)格樣片；
(8)光源不均勻性：≥ 95%（Ф600mm）
(9)掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ±15mm; Y: ±15mm; Z：15mm Φ: ±10º
(10)曝光面光強(qiáng)：>15mW/cm2（i、g、h 線）
(11)汞燈功率：2500W（直流）
(12)曝光量設(shè)定方式：定時（倒計(jì)時方式 0.1s-9999.9s,設(shè)定精度 0.1s）
2．技術(shù)主要組成部分
大面積精細(xì)膠模圖形結(jié)構(gòu)成型機(jī)組成主要由：高均勻照明曝光系統(tǒng)、對準(zhǔn)工件臺系
統(tǒng)、CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)及輔助設(shè)備構(gòu)成。各系統(tǒng)構(gòu)成與配置如下:
（1）高均勻照明系統(tǒng)包括：
。冷光橢球鏡；
。2500W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。 XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺；
。光學(xué)系統(tǒng)：橢球反射鏡、光欄、快門、平面冷光反射鏡 1、平面冷光反射鏡 ，2、蠅眼透
鏡組、拋物面冷光反射鏡；
。冷卻風(fēng)扇；
。循環(huán)水冷系統(tǒng)。
（2）對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括：
? 掩模樣片相對運(yùn)動臺；
? 轉(zhuǎn)動臺；
? 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成；
? 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動調(diào)整；
? 承片臺 10 個：Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm
×600mm；
? 掩模夾 1 個：650mm×650mm；
? 抽拉式上下片機(jī)構(gòu)。
（3）CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)包括：
? 光源、電源；
? 顯微鏡工作臺；
? 成像光學(xué)系統(tǒng)（兩套）；
? 數(shù)據(jù)采集卡；
? CCD 圖像處理部件（兩套）。
（4）電控系統(tǒng)包括：
? 大功率汞燈觸發(fā)電源；
? 單片機(jī)控制系統(tǒng)；
? 薄膜開關(guān)面板；
? 控制柜桌；
（5）氣動系統(tǒng)包括：
? 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等；
? 電磁閥驅(qū)動部件；
? 氣動顯示儀表。
（6）其他配套附件
? 真空泵一臺（無油泵、SK-65C 型）；
? 空壓機(jī)一臺（*型、YB-W30 型）；
? 水冷機(jī)一臺（H35W 型）；
? 配套接口管道
二、URE-2000/A12 紫外光刻機(jī)
1、設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)：
(1) 曝光面積： 300mm×300mm；
（2）分辨力： ±2μm；
（3）對準(zhǔn)精度：±2μm；
（4）掩模尺寸： 7 英寸、9 英寸、13 英寸；
（5）樣片尺寸： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；
（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂層；
（7）掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：10mm;Y:10mm；
（8）掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6°；
（9）汞燈功率：1000W（直流）；
（10）曝光能量密度：≥ 10mW/cm 2 ；
（11）曝光峰值波長:365nm；
（12）光源平行度：＜2°；
（13）曝光方式：定時（倒計(jì)時方式 0.1s—9999.9s）；
（14）光刻版夾具兼容性
2．技術(shù)主要組成部分
（1）曝光頭系統(tǒng)包括:
? 冷光橢球鏡；
? 德國 OSRAM1000W 直流高壓汞燈；
? XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺；
? 光學(xué)系統(tǒng)（冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡）；
? 冷卻風(fēng)扇。
（2）對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括:
? 掩模樣片相對運(yùn)動臺；
?（XY），轉(zhuǎn)動臺；
? 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)；
? 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)；
? 承片臺 3 個： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；
? 掩模夾 3 個： 7 英寸、9 英寸、13 英寸。
（3）CCD 對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)包括:
?4 倍顯微鏡 2 只；
?照明光源 2 套；
? CCD 相機(jī) 2 只；
?22 英寸液晶顯示器。
（5）電控系統(tǒng)：
? 汞燈觸發(fā)電源(1000W)；
? 單片機(jī)控制系統(tǒng)；
? 控制柜桌。
（6）氣動系統(tǒng)系統(tǒng)包括:
? 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)，電磁閥驅(qū)動，氣動儀表等
（7）其他配置與附件
?真空泵一臺；
?空壓機(jī)一臺；
? 配套氣管 10m；
三、URE-2000/A8 紫外光刻機(jī)
1、設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)：
(1) 曝光面積： 200mm×200mm；
（2）分辨力：±2 μm；
（3）對準(zhǔn)精度：±2 μm；
（4）掩模尺寸：5 英寸、7 英寸、9 英寸；
（5）樣片尺寸：4 英寸、6 英寸、8 英寸；
（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂層；
（7）掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：10mm;Y:10mm；
（8）掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Φ: ±6°；
（9）汞燈功率：1000W（直流）；
（10）曝光能量密度：≥ 15mW/cm 2 ；
（11）曝光峰值波長:365nm；
（12）曝光方式：定時（倒計(jì)時方式 0.1s—999.9s）；
（13）調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
（14）數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
（15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
2．技術(shù)主要組成部分
（1）曝光頭系統(tǒng)包括:
? 冷光橢球鏡；
? 德國 OSRAM1000W 直流高壓汞燈；
? XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺；
? 光學(xué)系統(tǒng)（冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡）；
? 冷卻風(fēng)扇。
（2）對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括:
? 掩模樣片相對運(yùn)動臺；
?（XY），轉(zhuǎn)動臺；
? 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)；
? 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)；
? 承片臺 3 個： 4 英寸、6 英寸、8 英寸；
? 掩模夾 3 個：5 英寸、7 英寸、9 英寸。
（3）CCD 對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)包括:
?4 倍顯微鏡 2 只；
?照明光源 2 套；
? CCD 相機(jī) 2 只；
?22 英寸液晶顯示器。
（5）電控系統(tǒng)：
? 汞燈觸發(fā)電源(1000W)；
? 單片機(jī)控制系統(tǒng)；
? 控制柜桌。
（6）氣動系統(tǒng)系統(tǒng)包括:
? 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)，電磁閥驅(qū)動，氣動儀表等
（7）其他配置與附件
?真空泵一臺；
?空壓機(jī)一臺；
? 配套氣管 10m；
四、URE-2000A 型光刻機(jī)
1．技術(shù)參數(shù)
?曝光面積：150mmX150mm
?曝光波長：365nm
?分辨力：0.8-1μm（膠厚 2 μm 的正膠）
?對準(zhǔn)精度：±0. 6μm
?掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±150mm（各種不規(guī)則片）
厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)
?曝光方式：定時（倒計(jì)時方式），0.1s-9999s
?具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
?照明不均勻性： 2.5%（ ±100mm 范圍），5%（±150mm 范圍）
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，
光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
?調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
?數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
?具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
?掩模相對于樣片運(yùn)動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Φ: ±6 度
?膠厚：500 μm(SU8 膠)
?光源平行性：1.2°
?曝光能量密度：>18mW/cm2
?冷卻方式：循環(huán)水+風(fēng)冷
?曝光面溫度：<30°C
?汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口
2．外形尺寸：1400mm（長）?1200mm(寬) ?1950mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
?冷光橢球鏡
?1000W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)
?XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
?冷卻風(fēng)扇
?光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡
1、場鏡 2、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
?循環(huán)水冷系統(tǒng)
（2）對準(zhǔn)工件臺
?掩模樣片整體運(yùn)動臺
?掩模樣片相對運(yùn)動臺
?轉(zhuǎn)動臺
?樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成
?樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動調(diào)
?承片臺 4 個（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）
?掩模夾 4 個（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）
?基片抽拉式上下片機(jī)構(gòu)
（3）對準(zhǔn)顯微鏡
?光源（配備品 2 只）、電源
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
?目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
?物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
（4）CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)(選配)
?光源（配備品 3 只）、電源
?成像光學(xué)系統(tǒng)（兩套）
?數(shù)據(jù)采集卡
?三維工件臺（兩套）
?CCD（2 只）
（5）電控系統(tǒng)
?汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)
?單片機(jī)控制系統(tǒng)
?控制柜桌
?計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器
（6）氣動系統(tǒng)
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
?電磁閥驅(qū)動
?氣動儀表
（7）其他附件
?真空泵一臺（無油泵）
?空壓機(jī)一臺（*泵）
五、URE-2000B 型光刻機(jī)
1．技術(shù)參數(shù)
?曝光面積：100mmX100mm
?曝光波長：365nm
?分辨力：0.8μm（膠厚 2μm 的正膠）
?對準(zhǔn)精度：±0.6μm
?掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±100mm（各種不規(guī)則片）
厚度 0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為 15mm)
?曝光方式：定時（倒計(jì)時方式）和定劑量
?具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
?照明不均勻性： 2.5%（±100mm 范圍）
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，
光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡 3 對：4 倍、10 倍、20 倍； 目鏡 3 對：10 倍、16 倍、20 倍
?調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
?數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
?具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
?掩模相對于樣片運(yùn)動行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度
?焦厚：600 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
?光源平行度：1.2º
?曝光能量密度：>20mW/cm
?汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口）
2．外形尺寸：1400mm（長）?1200mm(寬) ?1950mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
?冷光橢球鏡
?XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
?冷卻風(fēng)扇
?1000W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
?光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個透鏡）、i 線濾光片、場
鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準(zhǔn)工件臺
?掩模樣片整體運(yùn)動臺
?掩模樣片相對運(yùn)動臺
?轉(zhuǎn)動臺
?樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成
?樣片自動調(diào)焦機(jī)構(gòu)
?承片臺 4 個（?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸）
?掩模夾 4 個（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對準(zhǔn)顯微鏡及 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)
?光源、電源
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
?目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
?物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
?CCD
?21 英寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
?汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)
?單片機(jī)控制系統(tǒng)
?控制柜桌
（5）氣動系統(tǒng)
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
?電磁閥驅(qū)動
?氣動儀
（6）其他附件
?真空泵一臺（無油泵）
?空壓機(jī)一臺（*泵）
?管道
（7）技術(shù)資料
?使用維修說明書。
? 顯微鏡使用說明書
六、URE-2000/35 型光刻機(jī)
1．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，自動化程度高）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）
采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準(zhǔn)間隙和消除
曝光間隙，采用 350W 進(jìn)口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制，性能非常可靠，自動化程
度很高，操作十分方便。
2．技術(shù)參數(shù)
?曝光面積：4 英寸
?曝光波長：365nm
?分辨力：0.8?m
?對準(zhǔn)精度：?0. 8?m
?掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?樣片尺寸：直徑 ?10mm-- ?100mm(各種不規(guī)則片)，厚度 0.1mm--5mm(可擴(kuò)展為 15mm)
?曝光方式：定時（倒計(jì)時方式）和定劑量
?具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
?照明不均勻性： 3%（?100mm 范圍）
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，
光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
?調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
?數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
?具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
?掩模相對于樣片運(yùn)動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6º
?焦厚：400 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
?光源平行性：3.5 º
?曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 º
?單層曝光一鍵完成
?采用球氣浮自動找平
?汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口汞燈）
3．外形尺寸：1200mm（長）±900mm(寬) ±1750mm（高）
4．配置
（1）曝光頭
?冷光橢球鏡
?350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(進(jìn)口)
?XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
?冷卻風(fēng)扇
?光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡
1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準(zhǔn)工件臺
?掩模樣片整體運(yùn)動臺
?掩模樣片相對運(yùn)動臺
?轉(zhuǎn)動臺
?樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成
?基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
?樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，電機(jī)自動調(diào)
?承片臺 4 個：±15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸（可按用戶要求增減）
?掩模夾 4 個：3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用戶要求增減）
（3）對準(zhǔn)顯微鏡
?光源（配備品 2 只）、 電源
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
?目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
?物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
?CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)，21 寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
?汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
?單片機(jī)控制系統(tǒng)
?控制柜桌
（5）氣動系統(tǒng)
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
?電磁閥驅(qū)動
?氣動儀表
（6）其他附件
?真空泵一臺
?空壓機(jī)一臺
?管道
七、URE-2000/35A 型光刻機(jī)
1．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高，操作傻瓜型，全自動）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）
采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準(zhǔn)間隙和消除
曝光間隙，采用 350W 進(jìn)口（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度。設(shè)備外形美觀精制，性能非?？煽?，自動化程
度很高，操作十分方便。
2．技術(shù)參數(shù)
?曝光面積：6 英寸
?曝光波長：365nm
?分辨力：1-1.2μm（膠厚 2 μm的正膠）
?對準(zhǔn)精度：±0.8μm
?掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±150mm（各種不規(guī)則片），厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定時（倒計(jì)時方式）和定劑量
?具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
?照明不均勻性： 6%（±150mm 范圍）
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，
光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
?調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
?數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
?具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
?掩模相對于樣片運(yùn)動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф : ±6º
?焦厚：350μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
?光源平行性：3.5 º
?曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面溫度<35 º
?單層曝光一鍵完成
?采用球氣浮自動找平
?汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）
3．外形尺寸：1200mm（長）?900mm(寬) ?1750mm（高）
4．配置
（1）曝光頭
?冷光橢球鏡
?350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
?XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
?冷卻風(fēng)扇
?光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡、
冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準(zhǔn)工件臺
?掩模樣片整體運(yùn)動臺
?掩模樣片相對運(yùn)動臺
?轉(zhuǎn)動臺
?樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),三點(diǎn)自動完成
?樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，電機(jī)自動調(diào)
?基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
?承片臺 4 個：?15mm 、3 英寸、4 英寸、6 英寸（可按用戶要求增減）
?掩模夾 4 個：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（可按用戶要求增減）
（3）對準(zhǔn)顯微鏡
?光源（配備品 2 只）、 電源
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
?目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
?物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
?CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)，21 寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
?汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
?單片機(jī)控制系統(tǒng)
?控制柜桌
（5）氣動系統(tǒng)
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
?電磁閥驅(qū)動
?氣動儀表
（6）其他附件
?真空泵一臺
?空壓機(jī)一臺
?管道
八、URE-2000/35L 型光刻機(jī)
一、 主要技術(shù)參數(shù)：
（1）曝光面積：100mm×100mm；
（2）照明不均勻性： ±3%（ ±100mm 范圍）；
（3）分辨力：1.0μm（膠厚 2.0 μm 的正膠，365nm 波長）
（4）對準(zhǔn)精度：≤±0.8μm；
（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸；
（6）樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±100mm、厚度 0.1mm--6mm；
（7）掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф:±6°；
（8）掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：6mm;Y:6mm
（9）曝光光源：紫外 LED（進(jìn)口）；
（10）曝光波長：365nm；
（11）曝光強(qiáng)度：≥20mW/cm2；
（12）曝光定時：倒計(jì)時方式(0.1s—9999.9s 任意設(shè)定).
（13）調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
（14）數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
（15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
二、技術(shù)構(gòu)成與配置
設(shè)備由曝光頭系統(tǒng)、對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)、CCD 對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、
氣動系統(tǒng)等部分構(gòu)成。
（1）曝光頭系統(tǒng)包括:
◆ 進(jìn)口紫外 LED 光源模塊；
◆ LED 光源整形模塊；
◆ XYZ 光源位置調(diào)節(jié)臺；
◆ 光學(xué)系統(tǒng)（含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組（79 個
透鏡）、場鏡組、反射鏡組）；
◆ 冷卻風(fēng)扇。
（2）對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括：
◆ 掩模樣片相對運(yùn)動臺（XY）；
◆ 轉(zhuǎn)動臺；
◆ 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，采用三爪加球氣浮自動調(diào)平方式；
◆ 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，采用電機(jī)加傳感器方式，可數(shù)字分離曝光間隙；
◆ 承片臺 4 個（?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸各 1 個）；
◆ 掩模夾 4 個（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸各 1 個）。
（3）CCD 對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)包括：
◆ 對準(zhǔn)光源 LED 燈；
◆ 雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體；
◆ 目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）；
◆ 物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）；
◆ CCD 部件；
◆ 22 英寸寬屏液晶顯示器。
（4）電控系統(tǒng)包括：
◆ 單片機(jī)控制系統(tǒng)；
◆ 紫外 LED 電源模塊；
◆ 控制柜桌。
（5）氣動系統(tǒng)包括：
◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)、電磁閥驅(qū)動、氣動儀表等 。
(6)．輔助設(shè)備配置:
◆ 真空泵 1 臺（干泵）；
◆ *空氣壓縮機(jī) 1 臺；
◆ 配套接管 10m；
(7)．備品備件
◆ 對準(zhǔn)光源燈 4 只（LED-1W，不包括機(jī)器自帶的兩只）；
九、URE-2000/35AL 型光刻機(jī)
一、 主要技術(shù)參數(shù)：
（1）曝光面積：150mm×150mm；
（2）照明不均勻性： ±4%（ ±150mm 范圍）；
（3）分辨力：1.0μm（365nm 波長）
（4）對準(zhǔn)精度：≤±0.8μm；
（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸；
（6）樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±150mm、厚度 0.1mm--6mm；
（7）掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф:±6°；
（8）掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：6mm;Y:6mm
（9）曝光光源：紫外 LED（進(jìn)口）；
（10）曝光波長：365nm；
（11）曝光強(qiáng)度：≥15mW/cm2 ；
（12）曝光定時：倒計(jì)時方式(0.1s—9999.9s 任意設(shè)定).
（13）調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
（14）數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
（15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
二、技術(shù)構(gòu)成與配置
設(shè)備由曝光頭系統(tǒng)、對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)、CCD 對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、
氣動系統(tǒng)等部分構(gòu)成。
（1）曝光頭系統(tǒng)包括:
◆ 進(jìn)口紫外 LED 光源模塊；
◆ LED 光源整形模塊；
◆ XYZ 光源位置調(diào)節(jié)臺；
◆ 光學(xué)系統(tǒng)（含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、場鏡組、反射鏡組）；
◆ 冷卻風(fēng)扇。
（2）對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括：
◆ 掩模樣片相對運(yùn)動臺（XY）；
◆ 轉(zhuǎn)動臺；
◆ 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，采用三爪加球氣浮自動調(diào)平方式；
◆ 樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，采用電機(jī)加傳感器方式，可數(shù)字分離曝光間隙；
◆ 承片臺 4 個（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 個）；
◆ 掩模夾 4 個（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 個）。
（3）CCD 對準(zhǔn)顯微鏡系統(tǒng)包括：
◆ 對準(zhǔn)光源 LED 燈；
◆ 雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體；
◆ 目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）；
◆ 物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）；
◆ CCD 部件；
◆ 22 英寸寬屏液晶顯示器。
（4）電控系統(tǒng)包括：
◆ 單片機(jī)控制系統(tǒng)；
◆ 紫外 LED 電源模塊；
◆ 控制柜桌。
（5）氣動系統(tǒng)包括：
◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)、電磁閥驅(qū)動、氣動儀表等 。
(6)．輔助設(shè)備配置:
◆ 真空泵 1 臺（干泵）；
◆ *空氣壓縮機(jī) 1 臺；
◆ 配套接管 10m；
(7)．備品備件
◆ 對準(zhǔn)光源燈 4 只（LED-1W，不包括機(jī)器自帶的兩只）；
十、URE-2000/30 型光刻機(jī)
1．技術(shù)特征
?高倍率雙目雙視場顯微鏡和 22 英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準(zhǔn)過程，并提供 USB 輸出；既滿足高精度對準(zhǔn)，又
可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲
?采用倒置式照明，更換汞燈更方便，散熱和防漏光效果更好
?對準(zhǔn)位和曝光位雙工位工作，雙工位自動切換
?采用嵌入式計(jì)算機(jī)+觸摸屏操作，操作更方便，更時尚
?上下片、版十分方便，自動化程度高，操作簡便。對高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）及工廠(效率高)尤為適宜
2．技術(shù)參數(shù)
?曝光面積：100mm×100mm（可升級為 6 英寸）
?曝光波長：365nm
?分辨力：≤1 μm（膠厚 1.5 μm 的正膠）
?對準(zhǔn)精度：±0.6 μm
?顯微鏡掃描臺運(yùn)動范圍：X：10mm;Y:10mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±100mm（各種不規(guī)則片），厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定時（倒計(jì)時方式）和定劑量
?具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能30
?照明不均勻性： 3%（±100mm 范圍）
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，
光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
?曝光對準(zhǔn)雙工位自動切換
?調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
?數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和間隙
?具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
?掩模相對于樣片運(yùn)動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6º
?焦厚：400 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
?光源平行性：3 º
?曝光能量密度：>25mW/cm2,照明面溫度<35 ºC
?單層曝光一鍵完成
?采用球氣浮+三爪找平
?汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）
3．外形尺寸：1400mm（長）±900mm(寬) ±1500mm（高）
4．配置
（1）曝光頭
?冷光橢球鏡
?350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
?XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
?冷卻風(fēng)扇
?光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡、
冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準(zhǔn)工件臺
?光刻機(jī)底座
?工位切換臺（氣缸）
?掩模樣片整體運(yùn)動臺
?掩模樣片相對運(yùn)動臺
?轉(zhuǎn)動臺
?樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),三點(diǎn)自動完成
?樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，電機(jī)自動調(diào)
?基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
?承片臺 4 個：?15mm 、?40mm、?60mm、?100mm（可按用戶要求增減）
?掩模夾 4 個：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用戶要求增減）
?樣片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對準(zhǔn)顯微鏡
?光源、 電源
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
?目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
?物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
?CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)，22 寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
?汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
?單片機(jī)控制系統(tǒng)
?控制面板
?控制柜桌
（5）氣動系統(tǒng)
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
?電磁閥驅(qū)動
?氣動儀表
（6）其他附件
?真空泵一臺
?空壓機(jī)一臺
?配套接口管道
十一、URE-2000/25 型光刻機(jī)
1．技術(shù)參數(shù)
?曝光面積：4 英寸
?曝光波長：365nm
?分辨力：1 μm（膠厚 2 μm 的正膠）
?對準(zhǔn)精度：±0.8μm
?掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±100mm(各種不規(guī)則片)，厚度 0.1mm--6mm
?曝光方式：定時（倒計(jì)時方式）和定劑量
?照明不均勻性： 3%（ ±100mm 范圍）
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，
光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
?掩模相對于樣片運(yùn)動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm;Ф : ±6º
?焦厚：350μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
?光源平行性：3.5 º
?曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 º
?汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）
2．外形尺寸：1200mm（長）?900mm(寬) ?1750mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
?冷光橢球鏡
?350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
?XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
?冷卻風(fēng)扇
?光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡
1、場鏡 2、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準(zhǔn)工件臺
?掩模樣片整體運(yùn)動臺
?掩模樣片相對運(yùn)動臺
?轉(zhuǎn)動臺
?樣片調(diào)平機(jī)構(gòu), 手動
?樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動
?承片臺 3 個（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）
?掩模夾 4 個（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對準(zhǔn)顯微鏡
?光源（配備品 2 只）、 電源
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
?目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
?CCD 及 21 英寸液晶顯示器
?物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
（4）電控系統(tǒng)
?汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
?單片機(jī)控制系統(tǒng)
?控制箱
（5）氣動系統(tǒng)
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
?電磁閥驅(qū)動
?氣動儀表
（6）其他附件
?真空泵一臺
?空壓機(jī)一臺
?管道
十二、URE-2000/17 型光刻機(jī)（臺式）
1．技術(shù)參數(shù)
?曝光面積：4 英寸
?曝光波長：365nm
?分辨力：1.5μm（膠厚 2 μm 的正膠）
?對準(zhǔn)精度：±1μm
?掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：15mm;Y:15mm
?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
?樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±100mm，厚度 0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為 15mm)
?曝光方式：定時（倒計(jì)時方式）和定劑量
?照明不均勻性： 5%（±100mm 范圍）
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，
光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
?掩模相對于樣片運(yùn)動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Ф: ±6 度
?汞燈功率：200W（直流）
?曝光能量密度：6mW/cm
2．外形尺寸：650mm（長）±600mm(寬) ±900mm（高）36
3．配置
（1）曝光頭
?200W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
?XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
?光學(xué)系統(tǒng)
?冷卻風(fēng)扇
（2）對準(zhǔn)工件臺
?掩模樣片整體運(yùn)動臺
?掩模樣片相對運(yùn)動臺
?轉(zhuǎn)動臺
?樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),手動
?樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動
?承片臺 3 個（?50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm ）
?掩模夾 4 個（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對準(zhǔn)顯微鏡
?光源（配備品 2 只）、電源
?雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
?目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
?物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
?CCD（中國臺灣）
?21 寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
?汞燈觸發(fā)電源(200W 直流汞燈)
?單片機(jī)控制系統(tǒng)
?控制機(jī)箱
（5）氣動系統(tǒng)
?氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
?電磁閥驅(qū)動
?氣動儀表
（6）其他附件
?真空泵一臺
?管道
采購中心
