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6"單溫區(qū)CVD真空管式爐ZKXJ-11GL3

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱北京眾譜科技有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時間2021/8/2 17:01:13
訪問次數(shù)318

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北京眾譜科技有限公司位于沈陽市沈北經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，地理位置*，交通運(yùn)輸便利?！　」炯夹g(shù)力量雄厚，主要代理經(jīng)營制冷設(shè)備、膜厚儀、以及MKS的氣體壓力及流量測量與控制、射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具、氟原子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器、真空產(chǎn)品、氣體分析儀及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。公司擁有員工50人，其中專業(yè)技術(shù)人員10余人。占地面積200平方米，是沈陽市私營企業(yè)、沈陽市重點發(fā)展私營企業(yè)、*獲得自營進(jìn)口權(quán)的企業(yè)之一。2015年通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。我公司通過與業(yè)務(wù)伙伴的緊密合作，憑借覆蓋全國的營銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，致力于為客戶提供專業(yè)、方便、快捷的本地化服務(wù)。公司的客戶涉及工業(yè)電子制造、通信及信息技術(shù)、教育科研、航空航天、微電子、新能源、生物醫(yī)藥、節(jié)能環(huán)保等行業(yè)和領(lǐng)域，通過與mks(上海萬機(jī)儀器)、inficon膜厚儀(英富康)等廠商的合作，為客戶提供產(chǎn)品增值銷售、應(yīng)用系統(tǒng)集成、科技租賃、計量校準(zhǔn)、維修維護(hù)和科技資產(chǎn)外包管理等綜合服務(wù)。秉承"以質(zhì)量求生存、以服務(wù)求發(fā)展"的宗旨，北京眾譜科技有限公司將繼續(xù)通過不懈的努力，為客戶提供"更豐富的產(chǎn)品選擇、更經(jīng)濟(jì)的解決方案、更全面的專業(yè)服務(wù)"，成為中國本領(lǐng)域的。

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質(zhì)譜儀

產(chǎn)品簡介在線詢價

ZKXJ-GL3是一款爐管內(nèi)徑為6的真空管式爐,它可以在5“的基片上生長多種薄膜（在不同氣氛下）.該爐的工作溫度為1100°C,采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器，溫控精度:±1°C

6"單溫區(qū)CVD真空管式爐ZKXJ-11GL3 產(chǎn)品信息

ZKXJ-GL3是一款爐管內(nèi)徑為 6" 的真空管式爐 , 它可以在5“的基片上生長多種薄膜（在不同氣氛下）. 該爐的工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器，溫控精度: ±1°C。

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)	雙層殼體，循環(huán)風(fēng)冷. 爐體表面溫度< 70 oC 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節(jié)能
工作電壓	AC 220V
功率	8KW
爐管規(guī)格	6" O.D x 40" 長標(biāo)配內(nèi)包含一只石英管, 多余的管子可單獨訂購
加熱元件	NiCrAl 電阻絲
工作溫度	工作溫度: 400 -1100°C 升降溫速率: 10°C/min(max)
加熱區(qū)	加熱區(qū)總長: 600mm (24'') 恒溫區(qū)長度: 中心200mm (精度±1°C) 在800℃時爐膛溫度分布曲線
控溫儀	采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器設(shè)有一個額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng) 雙K型omega原裝熱電偶測溫. 溫控精度: ±1°C 軟件接口、模塊和PC機(jī)不在標(biāo)配內(nèi)需額外訂購可選: PC接口和軟件
密封法蘭和進(jìn)氣接口	不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達(dá)到 (機(jī)械泵：10^-2 torr、分子泵：10^-4torr). 真空泵不包含在內(nèi) 右端法蘭上設(shè)有一個鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口. ( 如需對爐膛溫度進(jìn)行校準(zhǔn)請訂購36" 長 x 1/4"dia K 型omega原裝熱電偶) 包括兩個高純氧化鋁或石英管堵,設(shè)備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射
使用注意事項	爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
產(chǎn)品尺寸	爐體: 1000L x 680W x 920 H mm
凈重	250Kg
保修期	整機(jī)保修一年，相關(guān)耗材除外。（如密封圈、爐管等）
質(zhì)量認(rèn)證	Certificate