RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀

測量范圍

電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)；
方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm；
電阻：10-5～105 Ω；

可測晶片直徑

140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源

電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測量*大相對誤差

(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

≤5%

測試模式

可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能（選配）

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)*大值、*小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測試。

計(jì)算機(jī)通訊接口

并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí)）。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強(qiáng)光直射；