用途
•高分子材料表面的官能基付與一粘合性、密著性提高。通 過氧化反應，在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基（微量的水分及二氧化碳影響）。
同樣在氮氣等離子體中，氮原子被吸收在表面中，生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圓蝕刻。
•材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、啕瓷等）。
•石棉預處理（膜過濾灰化）。
•從電子設(shè)備到生化市場。
•低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
•使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
•表面有機物去除。
| 型號 | PR300 |
| 模式 | DP模式，桶型 |
| 高頻輸出 | Max300W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 同調(diào)方式 | 手動2軸同調(diào)方式 |
| 反應腔 | 超硬質(zhì)玻璃064x160mmx3室 |
| 反應氣體 | 1系統(tǒng)（氧氣）流量計 |
| 控制 | 自動減壓、自動密閉閥 |
| 配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金 |
| 外形尺寸 | W438xD520xH556mm |
| 重量 | 約36kg |
| 電源 | AC100V7A |
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