徠卡DM3 XL半導(dǎo)體行業(yè)專用材料顯微鏡
主要技術(shù)指標(biāo)
1、 主機:研究級正置式顯微鏡主機,全部原裝生產(chǎn)。
2、 光學(xué)系統(tǒng):采用國際的HCS無限遠光學(xué)系統(tǒng),有效校正軸向和徑向色差,提供最清晰銳利的圖像。同時采用國際標(biāo)準(zhǔn)的45mm齊焦距離。
3、觀察方式:顯微鏡具備反射明場、暗場、斜射照明觀察方式,燈箱由主機直接供電,無外置電源。
4、 反射光路:具備不低于4位功能轉(zhuǎn)換模塊,支持明場,暗場,偏光和斜射照明等觀察方式。整體光路支持25mm視場。后期可升級微分干涉觀察方式等。
*5、 一鍵式斜射照明觀察模式:可快速從明場觀察轉(zhuǎn)換為斜射觀察模式,可對樣品表面微小起伏實現(xiàn)立體觀察,發(fā)現(xiàn)在其他觀察方式下難以觀察到的晶界和微小缺陷等結(jié)構(gòu)。
6、 放大倍數(shù):50X~1000X(10倍標(biāo)準(zhǔn)目鏡下)
7、專業(yè)三目觀察鏡筒:高級三檔分光正相觀察筒,瞳距和觀察角度均可調(diào)。目鏡筒可實現(xiàn)100:0/50:50/0:100三檔分光,克服外部燈絲像對顯微圖像的影響。視場數(shù)不低于25;
8、目鏡:配置10X超寬視野目鏡,視場數(shù)不低于25mm,同時配置目鏡測微尺,目鏡屈光度可調(diào)節(jié)。
9、物鏡轉(zhuǎn)換器:不低于五孔高精度明暗場物鏡轉(zhuǎn)換器,保證五只物鏡同時安裝,每個物鏡孔孔徑不低于32mm,保證通光量。
10、物鏡:配置高精度高反差半復(fù)螢石明暗場物鏡5X、10X、20X、50X、100X五只,所有物鏡支持明場、暗場、偏光、斜射照明和DIC微分干涉等觀察方式,均為干鏡頭。物鏡孔徑不低于32mm,保證通光量。
*11、調(diào)焦機構(gòu):至少具備粗、中、細三檔高精度調(diào)焦機構(gòu),并且調(diào)焦手輪高度可調(diào),以保證更為準(zhǔn)確快捷的調(diào)焦設(shè)置,同時適合不同手型大小和不同臂長的使用者。
12、高級機械載物臺:大型載物臺,可實現(xiàn)透反射觀察,XY同軸控制手柄,操作靈活。X/Y軸調(diào)節(jié)旋鈕松緊度(張力)可調(diào)。載物臺行程不低于150mm×150mm,另配備圓形晶圓臺(不得低于6寸)
13、光源:需采用研究級科勒照明LED高亮光源(亮度高于12V100W鹵素?zé)簦WC提供足夠照明,燈箱帶集光透鏡,保證照明光線方向性、增強照明均勻度,減少雜散光干擾。LED光源無發(fā)熱和閃爍,有效壽命3萬小時以上。透反射光源均要求主機直接供電,一鍵即可切換,不接受外置電源
*14、光闌調(diào)節(jié):需配置CDA彩色編碼光闌輔助系統(tǒng),可實現(xiàn)光闌大小調(diào)節(jié)直接與物鏡倍率相對應(yīng),更準(zhǔn)確的控制景深,且提供對比度、襯度,減少人為粗略調(diào)節(jié)帶來的視域明暗差異、襯度差異。
*15、數(shù)碼攝像頭:采用顯微鏡廠家同品牌生產(chǎn)數(shù)碼攝像頭,1000萬有效物理像素
*15.1 不低于1000萬物理像素彩色高清(HD)攝像頭,具備靜態(tài)圖像采集和視頻錄制功能,靜態(tài)圖像物理分辨率為3648X2736(1000萬像素),視頻片段分辨率為200萬像素。
*15.2. 獨立式操作:無需連接電腦即可進行圖像采集和視頻錄制,所有操作通過無線遙控器實現(xiàn)。所采集的數(shù)據(jù)高速存儲在可取出的SD卡上。無線遙控器可設(shè)定所有攝像頭參數(shù),只需一個按鍵即可捕捉和查看圖像或影像片段。
15.3. 快速實時圖像傳輸:可實現(xiàn)每秒30幀的全高清分辨率(1920 x1080)動態(tài)實時圖像傳輸觀察,限度減少拖尾現(xiàn)象;具備HDMI高清接口,可進行高清圖像及視頻傳輸;
16、圖象分析系統(tǒng)基本平臺(與顯微鏡同品牌原裝圖像采集系統(tǒng),非國內(nèi)定制漢化軟件):
16.1 用戶界面,工作流程導(dǎo)向用戶界面, 操作容易和符合人工學(xué)要求. 優(yōu)化的數(shù)據(jù)處理為快速采集圖象和大量數(shù)據(jù)集顯示,直觀的設(shè)定實驗條件給快速設(shè)置和采集單色通道圖象
16.2 采圖,高速圖象采集.*控制照相機性能如曝光, 增益, binning, 黑的, 白的和伽瑪值, 局部圖象采集.-圖象顯示和管理,大圖象視窗在采集中或后復(fù)覽顯示單通道, 多通道圖象.
16.3測量模塊:可進行圖像二維尺寸的測量測量項目包含長度、角度、周長、面積和平均強度等;另外具備手動活圖實時測量功能;
16.4 圖象拼接功能:具備圖像拼接功能,擴展觀察視野面積;
17、電腦:Dell商務(wù)電腦一臺,市場主流配置,1T硬盤,4G內(nèi)存,1G獨顯,22寸液晶屏幕。