超純水(UPW)制造設備
市場中反滲透(膜分離)技術的應用可以使超純水制備由傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器等結合近年來開始在國外推廣應用的EDI(電去離子)技術都是屬于超純水制造技術的一次變革,從此我國環(huán)保設備進入了一個需再生化學品就可以能生產出高達18MΩ·CM的超純水,通常適用于半導體、集成電路等行業(yè)。國家經委也已將RO + EDI 成套技術的應用列入國家重點推廣范圍。滲透和EDI成套技術的開發(fā)和應用是我公司的專業(yè)方向和特長。
公司采用的現(xiàn)代超純水制造典型工藝流程為:
1: 預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點
2: 預處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
3: 預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點水質符合美國ASTM標準,電子部超純水水質標準(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
反滲透法分離過程有如下優(yōu)點:
1、裝置需加熱、沒有相變,處理效率高且速度快。
2、超純水設備產生的能耗少,運程工作連續(xù)而穩(wěn)定;
3、超純水設備體積小、操作簡單,適應性強;
4、超純水設備對環(huán)境不產生污染,環(huán)保性高。
5、設備抗壓強度大、耐寒、耐熱、耐老化、耐腐蝕,同時它還具有穩(wěn)固、美觀。