1.降溫方式:風(fēng)冷+水冷降溫,任何降溫時(shí)間降溫速率均不可大于5℃;
2.控氧系統(tǒng)(采用氧分析儀精準(zhǔn)控制):高溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量
3.控溫穩(wěn)定度:±0.5℃;
4.溫度均勻度:±1.5%℃(300℃平臺(tái),恒溫15min后檢測(cè));超溫控制:200℃以?xún)?nèi)≤3℃,200-300℃≤5℃;
5.控制:腔體可獨(dú)控溫、氧含量,通氣、報(bào)警保護(hù);
6潔凈度:Class100(0.3μm顆粒增長(zhǎng) ≤100ea,0.5μm顆粒增長(zhǎng) ≤100ea,采用高效過(guò)濾器過(guò)濾氣體中的顆粒雜質(zhì),過(guò)濾效果可達(dá)99.997%);
7操作界面:需要有設(shè)置OP,ENG,OEM權(quán)限(OP可查看recipe,點(diǎn)擊啟動(dòng)、停止按鈕,查看報(bào)警、運(yùn)行記錄;ENG:除OP權(quán)限外,增加修改recipe,導(dǎo)出作業(yè)記錄功能;OEM:除ENG權(quán)限外增加手動(dòng)控制各單元按鈕);
7設(shè)備運(yùn)行記錄可用USB端口導(dǎo)出excel格式記錄(需顯示開(kāi)始、結(jié)束事件,烘烤程序名稱(chēng),運(yùn)行過(guò)程氧含量狀況等記錄),記錄可保存至少15天;作業(yè)記錄界面同樣也可顯示以上信息;