半導體檢測顯微鏡產品介紹
? 帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金屬表面、半導體、液晶基板、樹脂等。
? 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專業(yè)器械的OEM (原廠委制) 產品，如那些利用YAG (近紅外、可見、近紫外或紫外) 激光* 對半導體晶片進行檢測和修補的設備。* 不保證激光系統(tǒng)產品的性能和安全性。
? 應用：切割、修整、校正、 給半導體電路做標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(校正錯誤)。還可用作光學觀察剖面圖以便探針分析半導體故障。
? 可用于紅外光學系統(tǒng)*。應用：晶體硅的內部觀察；紅外光譜特征分析。* 需要紅外光源和紅外攝像機。
? 支持BF (亮視場)、DF (暗視場)、偏振光及微分干涉對比(DIC) 的型號(產品) 可用。
? 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學系統(tǒng)上的標準配件。
? 內傾轉塔和超長工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。半導體檢測顯微鏡技術參數(shù)
型號 | FS70 | FS70-TH | FS70Z | FS70Z-TH | FS70L | FS70L-TH | FS70L4 | FS70L4-TH |
型號 | FS70S | FS70-THS | FS70ZS | FS70Z-THS | FS70LS | FS70L-THS | FS70L4S | FS70L4-THS |
聚焦調節(jié) | 使用同心粗調(3.8mm/rev)和微調(0.1mm/rev)對焦輪(右/左)實現(xiàn)50mm行程范圍 | |||||||
圖像 | 正像 | |||||||
物鏡筒鏡 | 西登托夫型, 調節(jié)范圍: 51 - 76mm | |||||||
視場數(shù) | 24mm | |||||||
俯角 | - | 0°-20° | - | 0°-20° | - | 0°-20° | - | 0°-20° |
透過率 | 固定(目 鏡/TV＝ 50%/50%) | 可調型(目 鏡/管徑＝ 99%/0%： 0%/99%) | 固定(目 鏡/TV＝ 50%/50%) | 可調型(目鏡/管徑＝99%/0%：0%/99%) | ||||
防護濾光片 | - | 內置激光濾光片 | ||||||
管徑鏡頭 | 1x | 1x-2x放大 | 1x | |||||
適用激光 | - | 1064/532/355nm | 532/266nm | |||||
相機安裝端口 | C-mount (適用適配器B選件) | 使用帶TV接口的激光 | C-mount開關 (帶綠色濾光片轉換開關) | |||||
照明系統(tǒng)(選件) | 亮視場反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌) 12V100W亮視場反射照明、無極亮度調節(jié)、光纖長度 | |||||||
物鏡 （用于觀察） | M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo | |||||||
物鏡（用于激光切割） | - | M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV | M Plan UV | |||||
載重 | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg | 14.2kg | 13.5kg | 13.9kg | 13.1kg |
重量（主機） | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg | 6.4kg | 7.2kg | 6.7kg | 7.5kg |
燈泡更換 | 標準: 鹵素燈泡 (12V, 100W) (517181) | |||||||
用于光纖傳導照明裝置 (12V, 100W) (378-700) | ||||||||
注：鏡體的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量。
半導體檢測顯微鏡標準配置
主機；
物鏡筒鏡；
管徑鏡頭；
照明系統(tǒng)；
物鏡；
半導體檢測顯微鏡可選配件
照明系統(tǒng)：亮視場反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌)；
12V100W亮視場反射照明、無極亮度調節(jié)、光纖長度；
物鏡：M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo；
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