半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備工藝
預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(工藝)
半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備特點(diǎn)
為滿足用戶需要，達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級(jí)的污染，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量.在工藝設(shè)計(jì)上，取達(dá)國(guó)家自來(lái)水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水，再設(shè)有介質(zhì)過(guò)濾器，活性碳過(guò)濾器，鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無(wú)人職守，同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備參數(shù)
1.原水水源(自來(lái)水，地下水井水，河水，湖水...)，除了自來(lái)水，其它的水源，需要提供水質(zhì)報(bào)告，水源不一樣，處理工藝不一樣，費(fèi)用就有很大的差別；
2.配置(需要配置還是一般配置，就是指水泵有國(guó)產(chǎn)的還是進(jìn)口的，反滲透膜用海德能的還是陶氏的...)；
3.控制(用PLC全自動(dòng)控制,還是手動(dòng)控制)；
4.出水水質(zhì)要達(dá)到什么標(biāo)準(zhǔn)，電阻率要達(dá)到多少，有什么用途，如果不知道，也沒(méi)關(guān)系，告訴我們您是做什么產(chǎn)品的，我們做給您設(shè)計(jì)出*符合您生產(chǎn)要求的方案；
系統(tǒng)應(yīng)用場(chǎng)合：
☆ 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路
☆ 電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗
☆ 電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
☆ 顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水
☆ 黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤(rùn)、洗膜、管頸清洗用純水
☆ 液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液
☆ 晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制
☆ 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片
☆ LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏
☆ 高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)
☆ 半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗
☆ 超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料
☆ 實(shí)驗(yàn)室和中試車間
☆ 汽車、家電表面拋光處理
☆ 光電產(chǎn)品、其他高科技精微產(chǎn)品
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