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單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)天津天有利科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地天津市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/8/7 15:28:36
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)139
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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天津天有利科技有限公司是集研制、開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)制造、為一體的企業(yè),致力于電加熱技術(shù)、溫度自動(dòng)控制和凈化技術(shù)的研究與開(kāi)發(fā)。 本公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)各種實(shí)驗(yàn)電爐、高低溫實(shí)驗(yàn)箱、電熱恒溫實(shí)驗(yàn)箱、恒溫水浴鍋、恒溫水箱、凈化工作臺(tái)。公司堅(jiān)持質(zhì)量至上,誠(chéng)信為本的經(jīng)營(yíng)理念。各系列產(chǎn)品進(jìn)入全國(guó)各地的大專(zhuān)院校、科研院所、醫(yī)療、醫(yī)藥、農(nóng)業(yè)、化工、食品工業(yè)、環(huán)境保護(hù)、工礦企業(yè)的實(shí)驗(yàn)室、化驗(yàn)室及檢測(cè)中心。公司產(chǎn)品規(guī)格齊全、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、外型美觀、價(jià)格合理、交貨及時(shí)、服務(wù)周到。對(duì)產(chǎn)品實(shí)行三包并提供可靠的售后服務(wù)。 公司承接大型的高低溫烘箱及非標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的加工制作,并為客戶(hù)提供技術(shù)咨詢(xún)。為了更好的為廣大客戶(hù)服務(wù),本公司還專(zhuān)門(mén)設(shè)立了儀器事業(yè)部,專(zhuān)業(yè)銷(xiāo)售各種實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備. 真誠(chéng)歡迎各界朋友光臨,真誠(chéng)期待與您的合作。
烘箱
單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
單溫區(qū)PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

                單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品描述:

該爐TL1200真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。采用雙層殼體結(jié)構(gòu),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3Pa。該爐安裝有行程開(kāi)關(guān),當(dāng)爐蓋打開(kāi)時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源。該爐通過(guò)射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)??梢酝ㄟ^(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高所需的溫度更低。

技術(shù)參數(shù):

1.額定溫度:1100℃                        2.溫度:1200℃                          3.電壓:220V

4.加熱元件:瑞典Kanthal-A1電阻絲        5.熱電偶:K

6.溫控方式:智能化30段可編程控制         7.射頻電源:詳細(xì)參數(shù)請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接地址

8.升溫速率:20℃/min 推薦升溫速率:10℃/min

9.真空法蘭和接頭:請(qǐng)咨詢(xún)相關(guān)業(yè)務(wù)人員           

10.質(zhì)量流量計(jì): 請(qǐng)咨詢(xún)相關(guān)業(yè)務(wù)人員

型號(hào)

TL1200-PE-Mini

TL1200-PE-II

TL1200-PE-III

TL1200-PE-IV

TL1200-PE-VI

爐管尺寸

Φ50X800

Φ60X1200

Φ80X1200

Φ100X1200

Φ150X1200

功率(KW)

1.5

3.5

3.5

3.5

5

加熱段長(zhǎng)(mm)

205

440

440

440

440


關(guān)鍵詞:熱電偶
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