單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品描述:
該爐由TL1200真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。采用雙層殼體結(jié)構(gòu),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3Pa。該爐安裝有行程開(kāi)關(guān),當(dāng)爐蓋打開(kāi)時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源。該爐通過(guò)射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)??梢酝ㄟ^(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高所需的溫度更低。
技術(shù)參數(shù):
1.額定溫度:1100℃ 2.溫度:1200℃ 3.電壓:220V
4.加熱元件:瑞典Kanthal-A1電阻絲 5.熱電偶:K型
6.溫控方式:智能化30段可編程控制 7.射頻電源:詳細(xì)參數(shù)請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接地址
8.升溫速率:≤20℃/min 推薦升溫速率:≤10℃/min
9.真空法蘭和接頭:請(qǐng)咨詢(xún)相關(guān)業(yè)務(wù)人員
10.質(zhì)量流量計(jì): 請(qǐng)咨詢(xún)相關(guān)業(yè)務(wù)人員
型號(hào) | TL1200-PE-Mini | TL1200-PE-II | TL1200-PE-III | TL1200-PE-IV | TL1200-PE-VI |
爐管尺寸 | Φ50X800 | Φ60X1200 | Φ80X1200 | Φ100X1200 | Φ150X1200 |
功率(KW) | 1.5 | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 5 |
加熱段長(zhǎng)(mm) | 205 | 440 | 440 | 440 | 440 |