三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

　　　　　　　　　　　　　　　　三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品描述：

該爐由_{TL1200真空管式爐}、石英真空室、射頻電源、_{GX供氣系統(tǒng)}、_{抽氣系統(tǒng)}、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10^-3Pa。該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源。該爐通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)?？梢酝ㄟ^射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高所需的溫度更低。

技術(shù)參數(shù)：

1.額定溫度：1100℃                     2.溫度：1200℃                         3.電壓：220V

4.加熱段：205mm+205mm                  5.溫控方式：智能化30段可編程控制           6.熱電偶：K型        

7.加熱元件：瑞典Kanthal-A1電阻絲

8.升溫速率：≤30℃/min    推薦升溫速率：≤15℃/min       

9.等離子射頻電源：輸出功率：50-500w可調(diào)±1% 穩(wěn)定性

頻率：13.56MHz ±0.005%

噪聲：<50dB

冷卻：空氣冷卻

輸入功率：AC 220V，500W       

10真空泵和閥門：采用KF25系列波紋管和精密球閥連接

真空度可達(dá)10-3Pa

數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值

11.質(zhì)量流量計(jì)：內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量訓(xùn)科準(zhǔn)確的控制氣體流量

氣體流量范圍為0-200sccm，誤差：0.02%

一個(gè)氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況

不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入的數(shù)量

進(jìn)氣口：采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭