極限壓力: 0.001 - 0.03 hPa (mbar)
抽氣速率 50 Hz: 70 - 7385 m³/h
抽氣速率 60 Hz: 85 - 7385 m³/h
COBRA Semicon 干式螺桿真空泵為工藝嚴苛的半導體、太陽能、平板顯示器生產(chǎn)及鍍膜行業(yè)提供有效的解決方案。
高效可靠
COBRA Semicon 螺桿真空泵配有高效電機,因此可提供的節(jié)能效果。強勁、可靠、低維護的 COBRA Semicon 真空泵緣于其簡單的設(shè)計結(jié)合 Busch 成熟的螺桿技術(shù)(可選擇額外的直通法蘭羅茨真空泵)。
應(yīng)用導向
COBRA Semicon 螺桿真空泵有多種型號,廣泛適用于各類工藝操作。緊湊型設(shè)計簡化了安裝過程,即使在較狹小的空間也能輕松安裝。此系列真空泵擁有同等級中的抽速,可提供的通氣量(甚至是氫氣)及增強的顆粒耐受力。