CGM-2F是一款小型的兩通道混氣系統(tǒng),用于惰性氣體的控制,可用以小型管式爐,手套箱,等離子清洗機(jī),小型PECVD系統(tǒng)等。
- 兩個(gè)浮子流量計(jì)可以將流量速率控制在16 to 160 mL/min
- 一個(gè)機(jī)械壓力表:0 - 1.0 MPa, (0.02 MPa/grit)
- 三個(gè)用304不銹鋼制成的針閥
- 三個(gè)1/4"的接頭(可選用尼龍或者不銹鋼)
- 尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7")