OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，它是由管式爐，三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成，其真空度可達(dá)到 10-2 torr。
技術(shù)參數(shù)
| 殼體結(jié)構(gòu) | - 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷，使得殼體的表面溫度小于60度
- 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，可以減少熱量的損失，環(huán)保節(jié)能
- 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
- 可開啟式，更換爐管方便
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| 功率 | 5 KW |
| 電壓 | AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
| 加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
| 工作溫度 | 1200oC |
| 連續(xù)工作溫度 | 1100oC |
| 加熱速率 | <= 20 oC /min |
| 石英管& 密封法蘭 | - 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi)
- 儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭，壓力表和閥門
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| 加熱區(qū)長度 | - 三個溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total)
- 溫區(qū) 1: 220mm (8.6" )
- 溫區(qū) 2: 440mm (17.3")
- 溫區(qū) 3: 220 mm (8.6")
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| 溫控系統(tǒng) | - 三個精密溫度控制器，可獨(dú)立控溫
- PID控制方式,通過PWM固體繼電器。
- 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀，并可設(shè)置30段升降溫程序.
- 帶有過熱和斷偶保護(hù)功能
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| 控溫精度 | +/- 1oC |
| 真空密封系統(tǒng) | - 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥）.
- 通過機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機(jī)械泵和分子泵，真空度可以達(dá)到, 10-4 torr.
- 漏氣率 < 5 m-torr / min
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| 真空泵 | - 采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有進(jìn)口的油污過濾器，可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過濾的最小微粒直徑為0.3微米。
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| 數(shù)字式真空顯示計 | - 美國進(jìn)口CVM-211,已安裝在不銹鋼法蘭上，測量范圍為10-4Torr~1000Torr
- 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
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| 氣體流量計和壓力表 | - 三個浮子流量計(準(zhǔn)確率4%FS)，能夠檢測到氣體的流
- 三路浮子量程分別為
- 10-100 cc/min.
- 16-160 cc/min.
- 25-250 cc/min
- 內(nèi)部安裝有一混氣罐
- 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力
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| 閥門 | 四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上，用于控制氣體的流量 |
| 外形尺寸 | 爐子: 1100 X 450 x 670mm 底部移動架: 600x600x597 |
| 凈重 | 約 90 Kg |
| 運(yùn)輸重量 | 245 Lbs |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE certified |
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