一、IONAC NM60SG 半導(dǎo)體級(jí)拋光樹脂概述:
朗盛拋光樹脂IONAC NM60SG 是一種高度再生的混床離子交換樹脂.其中含有化學(xué)當(dāng)量為1:1的強(qiáng)堿陰離子和強(qiáng)酸陽離子.NM 60 SG 為了要符合工業(yè)超純水的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)而經(jīng)過特殊處理以便達(dá)到高效能和低TOC.
IONAC NM 60 SG 適用于: 純水/混床精制/電子業(yè)/實(shí)驗(yàn)室/特別是需要18兆歐以上高純水的用戶。
二、IONAC NM60SG 半導(dǎo)體級(jí)拋光樹脂物化特性:
| 陽離子 | 陰離子 |
功能基團(tuán) | R-SO3-H+ | R-(CH3)3-N+OH- |
體積全交換量min eq/l | 2.0 H+型 | 1.1 OH-型 |
轉(zhuǎn)換率 | 99.5%Min H+型 | 95% Min OH-型 |
混和比例 | 1.0part C-267P/SG | 1.5part ASB1P/SG |
遷移離子類型 | H+/OH- |
|
粒徑 mm | 0.3-1.2 |
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有效粒徑 | Mm 0.47±0.06 |
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堆積密度 | g/l 688 |
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密度 | g/ml 1.2 |
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含水量 | % 55-60 |
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混合交換當(dāng)量 | Min eq/l 0.57 |
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穩(wěn)定性 溫度范圍℃ | 1-49 |
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PH范圍 | 0-14 |
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儲(chǔ)存 min年 |
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溫度范圍 ℃ | 5-40 |
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三、IONAC NM60SG 半導(dǎo)體級(jí)拋光樹脂推薦操作條件:
操作溫度 | max.℃ | 60 |
操作酸堿度 |
| 0 – 14 |
樹脂床高度 | min. mm | 610 |
壓差 | kPa | See Chart |
壓差 | kPa | 200 |
線速度 | m/h | 15-60 |
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