層流罩的用途：
層流罩(Fan Filter Unit)是風(fēng)機(jī)和過濾器的組合，也可稱為“自帶風(fēng)機(jī)的過濾設(shè)備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風(fēng)機(jī)模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級(jí)的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風(fēng)機(jī)模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個(gè)循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力，從而維持設(shè)定的運(yùn)行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計(jì)施工簡便，風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點(diǎn)，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。
層流罩的特點(diǎn)：
1.靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的，它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來二次投資。
2.可再利用性。從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
3.負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠房負(fù)壓。這樣靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。
4.第四：縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
5.減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。用在循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。
愛騰來FFU主要技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | ATF-FFU-2×2 | ATF-FFU-2×3 | ATF-FFU-2×4 | ATF-FFU-3×4 | ATF-FFU-3×4 | ATF-FFU-4×4 |
| 外型尺寸(mm)(WXDXH) | 575×575×320 | 575×875×320 | 575×1175×320 | 875×875×320 | 875×1175×320 | 1175×1175×320 |
| 面風(fēng)速 | 0.45±20% | |||||
| 噪音dB(A)(風(fēng)速0.45m/s， 距出風(fēng)面0.5m） | 48 | 48 | 48 | 48 | 52 | 52 |
| HEPA過濾效率 | ≥99.99%@0.3um | |||||
| HEPA規(guī)格 | 570×870×90 | 570×870×90 | 570×870×90 | 570×870×90 | 870×1170×90 | 870×1170×90 |
| 電源 | AC單相，220V/50Hz | |||||
| 功耗（W）（風(fēng)速0.45m/s） | 120 | 125 | 140 | 180 | 240 | 280 |
| 機(jī)外余壓（Pa） | 50~130 | |||||
| 振動(dòng) | ≤4um | |||||
| 箱體材質(zhì) | 鍍鋁鋅板/不銹鋼/鋁板/冷板 | |||||
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