Theta Probe 角分辨 X 射線光電子能譜儀 (ARXPS) 系統(tǒng)

利用 Thermo Scientific™ Theta Probe 角分辨 X 射線光電子能譜儀系統(tǒng)采集角分辨能譜，無(wú)須傾斜樣品即可無(wú)損表征超薄薄膜

新型技術(shù)產(chǎn)品所依賴的是固體近表面區(qū)域的設(shè)計(jì)。對(duì)于這種類型的材料，包括自組裝單層、表面改性聚合物和半導(dǎo)體設(shè)備，確定表面幾納米的成分是關(guān)鍵。通過(guò)使用平行角分辨 XPS (PARXPS) 和能夠提供準(zhǔn)確精密結(jié)果的 Avantage 數(shù)據(jù)系統(tǒng)的*軟件，Theta Probe X 射線光電子能譜儀系統(tǒng)能夠幫助您做到這一點(diǎn)。

Theta Probe 角分辨 X 射線光電子能譜儀系統(tǒng)特性：

· 的弧透鏡技術(shù)，提供 60° 平行角范圍內(nèi)收集角分辨 XPS 能譜的能力

· X 射線單色器具有用戶可選擇的光斑尺寸(15 至 400 µm)

· 系統(tǒng)能夠處理大樣品或多個(gè)樣品

· CCD 樣品對(duì)齊顯微鏡與樣品表面垂直。

透鏡、分析儀和檢測(cè)器

· 弧透鏡利用大接收角 (60°) 收集光電子

· 大角度可以提高靈敏度，并且允許在 PARXPS 測(cè)量中收集大角度范圍

· 透鏡軸與樣品法線成 50°，因此可以收集 20 至 80° 角度范圍的電子(相對(duì)于樣品法線)

· 180° 半球型分析器在輸出端配備一個(gè)二維檢測(cè)器

· 二維檢測(cè)器提供多通道檢測(cè)，多達(dá) 112 個(gè)能量通道和 96 個(gè)角度通道

· 透鏡有兩種操作方式：傳統(tǒng)模式和角度分辨模式

X 射線源

· 配備一個(gè)微聚焦單色器

· X 射線光斑尺寸范圍 15 - 400 µm

深度剖析

· 數(shù)控式 EX05 離子槍可用于提供深度剖析，哪怕在使用低能離子源時(shí)也有著很好的性能

· 深度剖析可使用方位角樣品旋轉(zhuǎn)

樣品處理

· 全電動(dòng)樣品臺(tái)，能夠?qū)崿F(xiàn) 5 軸移動(dòng)

· 樣品臺(tái)可容納大樣品——X 和 Y 軸上的移動(dòng)范圍為 70 mm，Z 軸上的移動(dòng)范圍為 25 mm(高度)

真空系統(tǒng)

· 5 mm 厚高導(dǎo)磁m金屬分析室，提高磁屏蔽效率

· 與使用內(nèi)部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳

Avantage 數(shù)據(jù)系統(tǒng)

· 集成了測(cè)試分析的所有方面，包括儀器控制、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理和報(bào)告生成

· 允許遠(yuǎn)程控制，并且可輕松與第三方軟件交互(例如 Microsoft Word)

· 管理從樣品載入到報(bào)告生成的整個(gè)分析過(guò)程