HORIBA STEC 微小液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F 質(zhì)量流量控制器LV-F

提供超低微小流量檢測(cè)

提供超低微小流量控制

可精準(zhǔn)檢測(cè)低沸點(diǎn)和高粘度液液體

可精準(zhǔn)控制低沸點(diǎn)和高粘度液液體

抗壓性：10MPa

抗壓性：10MPa

超潔凈

超潔凈

型 號(hào)

LV-F20 (PO/MO)

LV-F30 (PO/MO)

LV-F40 (PO/MO)

LV-F50 (PO/MO)

LV-F60 (PO/MO)

全標(biāo)度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測(cè)控制
范圍

5?99% F.S.

對(duì)象液體
種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體
粘度*2

低于 0.01 Pa·s (10cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復(fù)性*3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以內(nèi)(T98)

2秒以內(nèi)(T98)

使用環(huán)境
溫度*4

5?50℃(15?45℃精度的確保)

溫度影響
Span

±0.1%F.S./℃

工作差
壓值*5

0.05?0.3MPa

耐 壓

1MPa

壓力損失

ー

流量設(shè)定
信號(hào)

模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出
信號(hào)

模擬：0?5 VDC(*小負(fù)荷電阻2kΩ)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動(dòng)電源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏
規(guī) 格

PO類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO類型：5×10-12Pa?m3/s (He)

接液部材質(zhì)

PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA　MO類型：SUS316L，Ni

標(biāo)準(zhǔn)接頭

1/16”，1/8”卡套；
1/8”VCR
1/8”VCR
1/8”VCR

1/8”SWL類型，1/8”VCR類型

1/4”SWL類型1/4”VCR類型

型 號(hào)

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

全標(biāo)度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測(cè)控制范圍

5?99% F.S.

對(duì)象液體種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外

液體粘度*2

不高于 0.1 Pa·s (100cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復(fù)性*3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以內(nèi)(T98)

2秒以內(nèi)(T98)

使用環(huán)境溫度*4

5?50℃(15?45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃

工作差壓值值*5

不高于5MPa (視為流量計(jì)) / 50?300kPa (with piezo控制閥)

耐壓

10MPa (視為流量計(jì))

壓力損失

不高于 500Pa

流量設(shè)定信號(hào)

模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號(hào)

模擬：0?5 VDC ；數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動(dòng)電源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規(guī)格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材質(zhì)

SUS316L, Ni

標(biāo)準(zhǔn)接頭

1/16”，1/8”SWL類型，1/8”VCR類型

1/8”SWL類型，1/8”VCR類型

1/4”SWL類型1/4”VCR類型