- 新設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)汽化率的
- 新噴嘴確保持續(xù)穩(wěn)定的液體注入,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的蒸氣輸出濃度
- 全不銹鋼設(shè)計(jì)限度地提高耐腐蝕性,減少顆粒產(chǎn)生
- 適用于多種液體材料
LE 系列大流量高效汽化器將通道和加熱器元件嵌入鑄鋁塊,確保的傳熱率,并消除冷點(diǎn)和冷凝風(fēng)險(xiǎn)。該液體源汽化控制系統(tǒng)可在高達(dá) 300℃ 的溫度下運(yùn)行,IPA(或等效物質(zhì))汽化效率可達(dá) 30g/min。
特征:
Application liquid | H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here. |
Maximum vaporization volume (gas flow rate) | H2O : 10g/min (12.4 SLM) IPA : 30g/min (11.1 SLM) TEOS : 50g/min(5.3 SLM) SiCl4 : 130g/min(17.1 SLM) |
*您想獲取產(chǎn)品的資料:
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