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CVD/CVI/PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海哈騰電爐設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/12/25 12:16:21
  • 訪問(wèn)次數(shù)136
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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作為一家高科技初創(chuàng)企業(yè),我問(wèn)將為世界各地的研究機(jī)構(gòu)和工業(yè)企業(yè)提供全新的陶瓷、金屬快速燒結(jié)技術(shù)、產(chǎn)品和服務(wù)。 作為中國(guó)快速燒結(jié)技術(shù)服務(wù)商,我們將為粉末冶金市場(chǎng)注入新的活力。 快速燒結(jié)技術(shù)可以優(yōu)化您的燒結(jié)生產(chǎn)工序,大幅降低成本,提高生產(chǎn)效率。與此同時(shí),抑制晶粒長(zhǎng)大的效應(yīng)可以賦予您的產(chǎn)品更加優(yōu)良的性能,使其在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中更具優(yōu)勢(shì)。 對(duì)于致力于新材料開發(fā)的實(shí)驗(yàn)室,我們提供了一種價(jià)格低廉、快速靈活的新材料制備手段,是您的研究更加高效,且特色。 希望我們的技術(shù)結(jié)合您富有想象力的思維為世界提供更加豐富多彩的材料體系,創(chuàng)造更多的社會(huì)價(jià)值。
快速熱壓燒結(jié)爐,高溫真空爐,氣象沉積爐,實(shí)驗(yàn)室電爐,箱式爐,管式爐
設(shè)備特點(diǎn)1.高真空系統(tǒng)由雙級(jí)旋片真空泵和分子泵組成,真空可達(dá)10-4Pa
CVD/CVI/PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

  1. 設(shè)備特點(diǎn)


1.高真空系統(tǒng)由雙級(jí)旋片真空泵和分子泵組成,真空可達(dá)10-4Pa;
2.可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力,實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制;
3.數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì),流量顯示儀等組成,實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制;
4.每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性;
5.采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;
6.管路采用世界Swagelok卡套連接,不漏氣;
7.超溫、過(guò)壓時(shí),自動(dòng)切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣,使用安全可靠;
8.PECVD借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),更容易發(fā)生反應(yīng)。


  1. 設(shè)備參數(shù)

類別

加熱爐

射頻電源

真空系統(tǒng)

混氣系統(tǒng)

壓強(qiáng)控制系統(tǒng)

尾氣處理系統(tǒng)

溫度

加熱區(qū)

型式

管徑

長(zhǎng)度

CVD

1200~1700℃

220~440mm

臥式、滑動(dòng)式

Φ60~Φ100

600~1600

無(wú)

10Pa
1Pa
5*10-3Pa
(可選)

MFC單路或多路控制

可選

  1. 過(guò)濾
  2. 燃燒
  3. 冷凝
  4. 中和反應(yīng)

(可選)

CVI

1200~1700℃

220~440mm

立式、滑動(dòng)式

Φ60~Φ100

600~1600

無(wú)

PECVD

1200℃

220~440mm

臥式、滑動(dòng)式

Φ60~Φ100

1200~1600

300~500W




關(guān)鍵詞:真空泵
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