光學(xué)輪廓測量顯微鏡
一、技術(shù)參數(shù)
1. 觀察筒：正像觀察筒，45°鉸鏈?zhǔn)饺?，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比
雙目:三目=100：0 或 0:100
2.移動(dòng)行程范圍： X:100mm;Y:100mm
分辨率 Z 軸不小于 0.02um，XY 軸不小于 0.10um,Optical 不低于 0.40um
3.工作臺(tái)尺寸： 355×240mm (玻璃臺(tái)面尺寸：210×175mm)
4.可檢測表面粗糙度：不小于 40nm
5.物鏡： 5X、10X、20X、50X、100X
6.總放大倍數(shù) 50X-1000X
7.雙照明光源，帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心
反射照明： 高亮度5V，3W（LED）
投射照明：高亮度5V，3W（LED）
8. 適配鏡：直徑：59mm, 0.5 倍，內(nèi)調(diào)焦距：0～3mm 調(diào)焦后可鎖緊；
感光元件 1/2″，數(shù)據(jù)采集速度，可達(dá) 30 幀/秒，高分辨率：2048×1536
光學(xué)輪廓測量顯微鏡配置清單
序號(hào) | 名稱 | 單位 | 數(shù)量 | 備注 |
1 | 顯微鏡主機(jī) | 臺(tái) | 1 | |
2 | XY移動(dòng)手輪 | 組 | 1 | |
3 | 觀察鏡組 | 套 | 1 | |
4 | 物鏡5X、10X、20X、50X、100X | 套 | 各1 | |
5 | 目鏡10X | 對(duì) | 1 | |
6 | 適配鏡0.5X | 只 | 1 | |
7 | 數(shù)據(jù)采集系統(tǒng) | 套 | 1 | |
8 | 成像裝置系統(tǒng) | 套 | 1 | |
9 | LED照明裝置 | 套 | 1 | |
10 | 聯(lián)想品牌電腦 | 套 | 1 | |
11 | 電源線 | 臺(tái) | 1 | |
12 | 產(chǎn)品裝箱單 | 份 | 1 | |
13 | 隨機(jī)文件 | 份 | 1 |
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