日本新宇宙毒性氣體檢測儀XP-703D特長
Z適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測。
通過報(bào)警燈及蜂鳴器即可得知?dú)怏w泄漏。
日本新宇宙毒性氣體檢測儀XP-703D參數(shù):
型號 | XP-703D | ||||
檢測原理 | 熱線型半導(dǎo)體式 | ||||
檢測對象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體(砷化三氫、、、硅烷等) | ||||
能檢測的泄漏量 能檢測的濃度 | 砷化三氫 AsH3 1.0×10-7 0.2 | PH3 1.5×10-7 0.3 | B2H6 0.5×10-7 0.1 | 硅烷 SiH4 2.5×10-7 0.5 | 氫氣 H2 5×10-7 Pa·m3 /s 1.0 ppm |
應(yīng)答時(shí)間 | 10秒 | ||||
檢測表示 | 蜂鳴器發(fā)出斷續(xù)音且報(bào)警燈閃爍 | ||||
電源 | 5號錳干電池4節(jié) | ||||
電池使用時(shí)間※1 | 使用堿性干電池使用約9小時(shí)(使用錳干電池約3小時(shí)) | ||||
使用溫度范圍 | 0℃~40℃ | ||||
外形尺寸 | W68×H155×D32mm | ||||
重量 | 約400g(包括電池) | ||||
附件 | 皮套、吸引過濾器、過濾片、檢查氣體、標(biāo)準(zhǔn)輔助橡膠管、5號錳干電池4本 | ||||
另售的選購品 | Ni-Cd電池專用充電器、耳機(jī) |
※1 也可使用堿性干電池、Ni-Cd電池。