機組常規(guī)配置
·復合分子泵1臺
·直聯(lián)旋片泵1臺
·角閥1套
·高真空復合真空計1套(包括CF35電離規(guī)、KF16熱偶規(guī))
·直徑150mm×高200mm的真空室1套
·帶腳輪、圍板及不銹鋼臺面的小車1套
機組常規(guī)配置
·復合分子泵1臺
·直聯(lián)旋片泵1臺
·角閥1套
·高真空復合真空計1套(包括CF35電離規(guī)、KF16熱偶規(guī))
·直徑150mm×高200mm的真空室1套
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