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FTS i Series
英國泰勒-霍普森自1984年推出的Form Talysurf是臺能夠同時測量表面粗糙度、形狀和輪廓的儀器?,F(xiàn)在,新發(fā)展的FTS i Series系列測量系統(tǒng)強(qiáng)化了Taylor Hobson的,并創(chuàng)建了評價表面粗糙度和形狀的新的標(biāo)準(zhǔn)。使得該電感測量系統(tǒng)成為幾乎所有高精度測量應(yīng)用的理想解決方案.
功能及特點(diǎn)
特點(diǎn):高精度的電感傳感器,具備的穩(wěn)定性和重復(fù)性
全新的測量系統(tǒng)與驅(qū)動系統(tǒng)
表面粗糙度與輪廓測量的優(yōu)質(zhì)解決方案
全國計量體系認(rèn)證使用系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù):
(1)傳感器類型:電感傳感器
(2)三種水平驅(qū)動長度,X值/最小值:60mm/0.1mm,120mm/0.1mm,200mm/0.1mm
(3)驅(qū)動/測量速度:10mm/s值 -- 0.1mm/s, 0.25mm/s, 0.5mm/s 和1mm/s
(4)X方向的最小數(shù)據(jù)取樣間隔:0.125µm [ 0.1mm到120mm長度]
(5)直線度不確定度(Pt)2:0.5µm / 60mm ,0.5µm / 120mm ,0.75µm / 200mm
(6)直線度重復(fù)性:0.15µm/60mm, 0.15µm/120mm, 0.2µm/200mm
(7)分辨率:1mm量程時為16nm、0.2mm量程時為3.2nm
(8)量程與分辨率的比率:65,536 : 1
(9)測針臂長度、針尖大小、測力:60mm臂, 2µm半徑錐球形金剛石, 1mN測力
(10)Z軸非線性:(0.05 Z [mm]) µm - 標(biāo)定后? (Z =傳感器位移)