要特點(diǎn)
智能PECVD設(shè)備是目前型的一款設(shè)備，將所有的控制部分集為一體，此款設(shè)備是我司在2013年獲得的設(shè)備。高溫真空加熱爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號，同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求，關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品，做到高性能、免維護(hù)，提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，連續(xù)生長各種薄膜等。增加功能容易，可擴(kuò)展等離子清洗刻蝕等功能。
1.薄膜沉積速率高：射頻輝光技術(shù)，大大的提高了薄膜的沉積速率，沉積速率可達(dá)10?/S；
2.大面積均勻性高：采用了的多點(diǎn)射頻饋入技術(shù)，特殊氣路分布和加熱技術(shù)等，使得薄膜均勻性指標(biāo)達(dá)到8%；
3. 一致性高：用半導(dǎo)體行業(yè)的設(shè)計(jì)理念，使得一次沉積的各基片之間偏差低于2%；
4. 工藝穩(wěn)定性高：高度穩(wěn)定的設(shè)備保證了工藝的連續(xù)和穩(wěn)定；
5.號：ZL.0 （產(chǎn)品，防偽必究）。
加熱系統(tǒng)
| Z高溫度 | 1200℃（1 hour) |
| 使用溫度 | ≤1100℃ |
| 爐膛有效尺寸 | Φ60*1650mm（爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。） |
| 爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
| 熱電偶類型 | K型熱電偶 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控溫方式 | ?30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定， ?操作界面為10”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序， ?可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動（時(shí)間和距離）設(shè)定為程序控制。 |
| 加熱長度 | 200+200mm |
| 恒溫長度 | 200mm |
| 加熱原件 | 電阻絲 |
| 供電電源 | 單相，220V，50Hz |
| 額定功率 | 3KW |
PE射頻電源
| 信號頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率輸出范圍 | 500W |
| Z大反射功率 | 500W |
| 射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
| 功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
| 諧波分量 | ≤-50dbc |
| 供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
| 整機(jī)效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
四路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
| 外形尺寸 | 600x600x650mm |
| 連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
| 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 50sccm，100sccm、200sccm；500sccm （可根據(jù)用戶要求定制） |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.5% |
| 線性 | ±0.5～1.5% |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
| Z大壓力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
| 壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止閥 | Φ6 |
| 內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
低真空機(jī)組VAU-02
| 空氣相對濕度 | ≤85% |
| 工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
| 工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
| 功率 | 1千瓦 |
| 抽氣速率 | 10m3/h |
| 極限真空 | 5X10-1Pa |
| 工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
| 耐壓值 | 0.03MPa |
| 容油量 | 1.1L |
| 進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
| 排氣口口徑 | KF25 |
| 噪音 | 50dB |
| 外形尺寸 | 600×600×600mm |
| 連接方式 | 采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
| 電阻真空計(jì)參數(shù)： | |
| 配用規(guī)管： | ZJ-52T電阻規(guī)， |
| 測量范圍： | 10 5 ～10 -1 Pa， |
| 測量路數(shù)： | 1路 |
| 控制范圍： | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， |
| 控制方式： | 繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載， |
| 電源： | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， |
| 功耗： | 20W |
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