超高真空分子泵組DVM系列
分子泵組由中高真空獲得設(shè)備前級泵和超高真空渦輪分子泵組合而成。
真空獲得設(shè)備前級泵要求是真空度小于1mbar以下的真空泵，真空度越好，對泵組的最終獲得真空度越好。
分子泵前級泵分為兩個系列，分別是干式螺旋真空泵和高穩(wěn)定性兩級旋片真空泵。
渦輪分子泵能產(chǎn)生5×10-10mbar以上的超高真空度。
分子泵組的主要特點如下：
· 前級泵與分子泵合為一體。
· 前泵采用干式螺旋真空泵或高穩(wěn)定性兩級旋片真空泵。
· 分子泵采用空冷方式。
· 結(jié)構(gòu)特別緊湊, 操作特別簡單，數(shù)字液晶顯示器能實時參數(shù)設(shè)置。
DVM分子泵組系列 型號 | 前級泵型號 | 前級泵參數(shù) | 分子泵型號 | 分子泵參數(shù) |
噪音dB | |||
極限真空 mbar | 抽吸速度 L/min | 極限真空 mbar | 抽吸速度 L/s | 進氣連接 | ||||
DVMT0150-80 | 抗化學(xué)腐蝕 DVT0150 | 0.1 (10Pa) | 48 | DVM80 脂潤滑分子泵 | 5×10-9 | Ar: 62 N2: 63 | DN63CF (KF) | 55 |
DVMT01100-150 | 抗化學(xué)腐蝕 DVT01100 | 0.1 (10Pa) | 96 | DVM150 脂潤滑分子泵 | 2×10-9 | Ar: 140 N2: 145 | DN100CF (KF) | 55 |
DVMT01200-300 | 抗化學(xué)腐蝕 DVT01200 | 0.1 (10Pa) | 192 | DVM300 脂潤滑分子泵 | 2×10-9 | Ar: 255 N2: 260 | DN100CF (KF) | 55 |
DVMW0150-80 | 非抗化學(xué)腐蝕 DVW0150 | 0.1 (10Pa) | 48 | DVM80 脂潤滑分子泵 | 5×10-9 | Ar: 62 N2: 63 | DN63CF (KF) | 55 |
DVMW01100-150 | 非抗化學(xué)腐蝕 DVW01100 | 0.1 (10Pa) | 96 | DVM150 脂潤滑分子泵 | 2×10-9 | Ar: 140 N2: 145 | DN100CF (KF) | 55 |
DVMW01300-300 | 非抗化學(xué)腐蝕DVW01300 | 0.1 (10Pa) | 288 | DVM300 脂潤滑分子泵 | 2×10-9 | Ar: 255 N2: 260 | DN100CF (KF) | 55 |
DVMT0150-H80 | 抗化學(xué)腐蝕 DVT0150 | 0.1 (10Pa) | 48 | 選用進口德國分子泵HiPace系列 | 5×10-10 | Ar: 66 N2: 67 | DN63CF (KF) | 54 |
DVMT01100-H300 | 抗化學(xué)腐蝕 DVT01100 | 0.1 (10Pa) | 96 | 5×10-10 | Ar: 255 N2: 260 | DN100CF (KF) | 54 | |
另外，可選擇以下推車結(jié)構(gòu)形式的分子泵組。
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