FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器 微小測漏流量計
FS4001小型氣體質(zhì)量流量傳感器優(yōu)品出售，品質(zhì)有保障。銘鴻自動化儀表有限公司以信譽求生存，服務(wù)求發(fā)展為宗旨，贏得了國內(nèi)外眾多客戶的信任。
FS4001流量傳感器簡介：
產(chǎn)品簡介：
FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點：
傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用
輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
零點穩(wěn)定度高
全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
低功耗、低壓損
響應(yīng)速度快 氧氣 氮氣 空氣 二氧化碳 氣體測量 實驗室氣體 小氣氣體測量 微小氣體測漏等
FS4001流量傳感器參數(shù)：
機械尺寸：
技術(shù)參數(shù)：
FS4001 | ||
量程范圍 | 0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 | sccm |
量程比 | >100：1 | |
精度 | ±（1.5±0.2FS） | % |
重復(fù)性 | ±0.75 | % |
零點輸出飄逸 | ±30 | mV |
輸出飄逸 | 0.16 | %/oc |
響應(yīng)時間 | 100（默認，50，100，200，500，100設(shè)置） | ms |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA | |
輸出方式 | RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc | |
醨大流量壓損 | 900 | Pa |
醨大流量壓力 | 0.8 | MPa |
工作溫度 | -5~+45 | oC |
存儲溫度 | -20~+55 | oC |
工作濕度 | <95%RH(無結(jié)冰、無凝露) | |
機械接口 | M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉(zhuǎn)接模塊） | |
校準(zhǔn)方式 | 空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa | |
重量 | 17.5 | g |
FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器 微小測漏流量計
FS4001小型氣體質(zhì)量流量傳感器優(yōu)品出售，品質(zhì)有保障。銘鴻自動化儀表有限公司以信譽求生存，服務(wù)求發(fā)展為宗旨，贏得了國內(nèi)外眾多客戶的信任。
FS4001流量傳感器簡介：
產(chǎn)品簡介：
FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點：
傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用
輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
零點穩(wěn)定度高
全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
低功耗、低壓損
響應(yīng)速度快 氧氣 氮氣 空氣 二氧化碳 氣體測量 實驗室氣體 小氣氣體測量 微小氣體測漏等
FS4001流量傳感器參數(shù)：
機械尺寸：
技術(shù)參數(shù)：
FS4001 | ||
量程范圍 | 0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 | sccm |
量程比 | >100：1 | |
精度 | ±（1.5±0.2FS） | % |
重復(fù)性 | ±0.75 | % |
零點輸出飄逸 | ±30 | mV |
輸出飄逸 | 0.16 | %/oc |
響應(yīng)時間 | 100（默認，50，100，200，500，100設(shè)置） | ms |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA | |
輸出方式 | RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc | |
醨大流量壓損 | 900 | Pa |
醨大流量壓力 | 0.8 | MPa |
工作溫度 | -5~+45 | oC |
存儲溫度 | -20~+55 | oC |
工作濕度 | <95%RH(無結(jié)冰、無凝露) | |
機械接口 | M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉(zhuǎn)接模塊） | |
校準(zhǔn)方式 | 空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa | |
重量 | 17.5 | g |
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