電子束高壓電源
SLG高壓電源專為精密電子束應(yīng)用而設(shè)計,如半導(dǎo)體納米光刻,微光學(xué)和開發(fā)掩模工作。它具有超低紋波和出色的穩(wěn)定性規(guī)格,非常適合在這些要求苛刻的應(yīng)用中使用。提供可選擇的低輸出電流和高輸出電流范圍。
固體封裝的高壓部分消除了任何用戶維護問題,同時將組件與環(huán)境變量隔離開來。該裝置過載,電弧和短路保護。提供遠程控制編程和監(jiān)視功能。允許對高壓輸出進行精確的被動測量。可選USB2.0,網(wǎng)口,RS-232,RS485數(shù)字化通訊,可根據(jù)用戶要求定制。
典型應(yīng)用:
微光學(xué)
半導(dǎo)體光刻
半導(dǎo)體曝光機
掩模
電氣特性:
輸入電壓:
220Vac,±10%,單相50/60赫茲
輸出電壓:
0至100kV,負極性。外部開關(guān)可選擇105kV,±500伏
輸出電流:
0-10μA,低范圍
0-100μA,高范圍
開關(guān)可選
電壓調(diào)整率:
在輸入電壓范圍內(nèi)的額定電壓的±0.001%
負載調(diào)整率:
≤20V,電流變化為25μA至60μA和60μA至25μA
波紋:
峰峰值≤70mV
高壓微放電:
小于200mV
穩(wěn)定性:
在6小時預(yù)熱后,每8小時0.001%,溫度為20℃±0.2℃
溫度系數(shù):
在10°C至40°C范圍內(nèi)每攝氏度25ppm
環(huán)境:
工作溫度:0到40攝氏度
儲存溫度:-40至85攝氏度
濕度:10至90%RH,無冷凝
冷卻:
對流冷卻
前面板:
電源開/關(guān)開關(guān)
HV ON / OFF開關(guān)
HV ON / OFF指示燈
模擬輸出電壓表
外形尺寸:
10.25HX 19 WX 27 D(26.7cm X 48.3cm X 55.9 cm)
重量:
116磅(50千克)
威思曼高壓電源有限公司是微型高壓電源模塊、高壓電源模塊、X光射線管高壓電源、機箱高壓電源、特殊定制高壓電源、高壓附件等高壓電源產(chǎn)品的制造商,公司設(shè)計并制造定制和標(biāo)準(zhǔn)高壓電源產(chǎn)品,功率范圍從100mW到200kW,電壓范圍從60V到500kV。威思曼產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋醫(yī)療、工業(yè)以及科研等領(lǐng)域。高壓電源您可以在威思曼一站式采購多個品種規(guī)格。
威思曼高壓電源有限公司,公司擁有高壓電源研發(fā)團隊,高壓電源研發(fā)軟件和測試軟件。高電壓絕緣技術(shù),零電流諧振技術(shù),使威思曼高壓電源保持高穩(wěn)定性、低紋波、低電磁干擾、體積小,損耗小,效率高,長壽命。威思曼高壓電源價格有競爭力,是OEM應(yīng)用的理想選擇。