說明
TTR 101 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1500 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性和壓電傳感器中硅膜的機械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。
配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 230366V02) 和 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230702V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù)，并可提供實時壓力測量結(jié)果。更多詳情，請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 230354V02、230355V02、230356V02) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情，請參閱第 0 章。
TTR 101 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補償。
變送器擁有多達三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進行壓力控制。
傳感器技術(shù)
變送器含有兩個獨立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導性的測量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。
壓電傳感器基于相對于集成式參考真空的硅膜機械偏轉(zhuǎn)測量結(jié)果。壓電傳感器獨立于氣體成分和濃度來測量真實的壓力。
這兩個傳感器元件都極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
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變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應用中，如：工業(yè)應用、研發(fā)、半導體、分析和涂料工業(yè)中:
· 真空鎖壓力控制
· 一般真空壓力測量
· 前級管道和粗抽壓力測量
· 氣體回填測量和控制
· 質(zhì)譜儀控制
· 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)
· 系統(tǒng)過程控制
· 檢測異常壓力，利用設(shè)定點繼電器采取妥當?shù)陌踩胧?/span>
· 控制系統(tǒng)壓力
技術(shù)數(shù)據(jù)
測量原理: 熱傳導性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定
壓電傳感器中硅膜的機械偏轉(zhuǎn)
P/N: 230350V02、230351V02、230352V02、230353V02、230354V02、230355V02、230356V02:
測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1500 毫巴
精確度 (1) (N2): 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±10%
1×10-3 至 11 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±5%
11 至 1333 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.75%
1333 至 1500 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%
重復性 (1) (N2): 1×10-3 至 11 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%
11 至 1067 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.2%
P/N: 230366V02、230702V02:
測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1500 毫巴
精確度 (1) (N2): MEMS Pirani: 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±10%
1×10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±5%
100 至 1000 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±25%
壓電值: 0.1 至 10 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±1% ±0.5 毫巴
10 至 1333 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.75%
1333 至 1500 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%
重復性 (1) (N2): MEMS Pirani: 1x10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%
壓電值: 10 至 1067 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.2%
電源電壓: 9-30 伏直流
功耗: < 1.2 瓦
熔絲 (熱可恢復): 200 毫安
模擬輸出: 0.61-10.23 伏直流，Log 1.286 伏直流/十進制
模擬輸出分辨率: 16 位
模擬輸出阻抗: 100 歐
模擬輸出更新率: 16 赫茲
傳感器故障，模擬輸出: 0 伏
機械設(shè)定點繼電器:
P/N: 230350V02、230351V02、230354V02、230355V02: 0
P/N: 230352V02、230353V02、230356V02: 2
P/N: 230366V02: 3
設(shè)定點繼電器范圍: 2×10-4 至 1300 毫巴
設(shè)定點繼電器觸點額定值: 1 安/ 30 伏直流/交流 (電阻性負載) 設(shè)定點繼電器響應時間: < 100 毫秒 設(shè)定點繼電器觸點電阻: 100 毫歐 (值) 設(shè)定點繼電器觸點耐久性: 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負載)
設(shè)定點繼電器觸點耐久性: 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載)
軟件設(shè)定點繼電器:
P/N: 230702V02: 2
響應時間: < 20 毫秒
數(shù)字接口循環(huán)時間: 1 毫秒
暴露在真空中的材料 (2): 304 號不銹鋼，密封材料 FPM
內(nèi)部容積: KF16 法蘭 2.8 厘米3
NPT 1/8” 3.1 厘米3
外殼材質(zhì): 304 號不銹鋼
法蘭材質(zhì): 304 號不銹鋼
重量:
P/N: 230350V02、230352V02、230366V02: 168 克
P/N: 230351V02、230353V023: 183 克
P/N: 230354V02、230356V02: 292 克
P/N: 230355V02: 307 克
P/N: 230702V02: 338 克
允許壓力: 3 巴
運行溫度: 0 至 40 °C (32 至 104 °F)
烘烤溫度 (電源關(guān)閉): 85 °C (185 °F)
燈絲溫度: 超過室溫 35 °C
濕度: 0 – 95% 非冷凝
異物防護等級: IP40
泄漏速率: < 5?10-9 毫巴?升/秒
(1) 精確度和重復性是零位調(diào)整后在室溫氮氣氛下測得的典型數(shù)值。 (2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表，請聯(lián)系 Leybold。
零件 |
產(chǎn)品號 |
TTR 101 N，DN16KF | 230350V02 |
TTR 101 N，1/8" NPT | 230351V02 |
TTR 101 N，DN16 KF，2SP | 230352V02 |
TTR 101 N，1/8" NPT，2SP | 230353V02 |
TTR 101 N，DN16 KF，Display | 230354V02 |
TTR 101 N，1/8 NPT，Display | 230355V02 |
TTR 101 N，DN16 KF，Display，2SP | 230356V02 |
TTR 101 N，DN16 KF，RS232，3SP | 230366V02 |
TTR 101 N，DN16 KF，EtherCat | 230702V02 |
備用傳感器，TTR 101 N，DN16 KF | 230361V02 |
備用傳感器，TTR 101 N，1/8" NPT | 230362V02 |
Display One | 230001 |
Display Two | 230024 |
Display Three | 230025 |
Graphix One | 230680V01 |
Graphix Two | 230681V01 |
Graphix Three | 230682V01 |
A 型電纜，5 米 | 12426 |
A 型電纜，10 米 | 230012 |
A 型電纜，15 米 | 12427 |
A 型電纜，20 米 | 12428 |
A 型電纜，30 米 | 12429 |
A 型電纜，50 米 | 12431 |
A 型電纜，75 米 | 12432 |
A 型電纜，100 米 | 12433 |
螺旋管 DN 16 ISO-KF | 230082 |
定心環(huán) (1.4305 號不銹鋼)，含 O 型環(huán)，DN16 KF | 88346 |
定心環(huán) (不銹鋼)，含燒結(jié)金屬過濾器，DN16 KF | 88351 |
卡環(huán) (鋁)，DN16 KF | 18341 |
定心環(huán)，含細濾器 DN16 KF | 88396 |
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