說(shuō)明
PTR 237 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 5×10-3 毫巴的較大測(cè)量范圍，基于對(duì)冷陰極電離電流的測(cè)量結(jié)果。
配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89642V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230703V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù)，并可提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量結(jié)果。更多詳情，請(qǐng)參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。(P/N: 230703V02)
這些變送器用途廣泛，可用作獨(dú)立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 PENNINGVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺(tái)變送器在出廠前已逐臺(tái)進(jìn)行全量程測(cè)試。測(cè)試報(bào)告隨附在包裝中。此外，每個(gè)變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。
變送器擁有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器，這些繼電器可用于過(guò)程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。
傳感器技術(shù)
冷陰極反磁控管采用高電壓陽(yáng)極、陰極和永磁體。電子向陽(yáng)極加速，并將通過(guò)碰撞而使分子離子化。磁場(chǎng)使電子偏轉(zhuǎn)，從而使電子在穿過(guò)磁場(chǎng)前往陽(yáng)極時(shí)做螺旋形移動(dòng)。這種螺旋運(yùn)動(dòng)增大了電子遇到分子并使分子離子化的機(jī)會(huì)。
分子離子化產(chǎn)生電流，該電流是壓力的函數(shù)。
FAQ (常見(jiàn)問(wèn)題解答)
應(yīng)用
問(wèn): 變送器和傳感器元件能否持續(xù)承受機(jī)械前級(jí)泵的振動(dòng)?
答: 能，冷陰極傳感器能夠承受持續(xù)振動(dòng)。
問(wèn): 變送器能否兼容氟氣?
答: 不能，變送器不應(yīng)在侵蝕性環(huán)境中使用，比如半導(dǎo)體蝕刻用途。
問(wèn): 通過(guò)閥門(mén)閉合將變送器抽真空并隔離，壓力卻升高了。變送器是否泄漏?
答: 不太可能，密閉空間排空且泵抽停止時(shí)，壓力會(huì)因?yàn)橐运魵鉃橹鞯尼寶舛仙?。時(shí)間一久，壓力很容易升至數(shù)毫巴。
問(wèn): 當(dāng)使用氦泄漏檢測(cè)器測(cè)試變送器是否泄漏時(shí)，泄漏讀數(shù)在約 30 秒后緩慢上升。變送器是否泄漏?
答: 未泄漏，變送器內(nèi)部密封使用了彈性體 FPM 密封，因此氦分子可滲透 FPM 材料，導(dǎo)致氦泄漏讀數(shù)緩慢增長(zhǎng)。如果直接使用氦泄漏檢測(cè)器測(cè)試泄漏的變送器，則幾乎會(huì)瞬間顯示泄漏。
問(wèn): 變送器是否可以安裝在任何方向?
答: 可以，變送器可以在任何方向安裝，不會(huì)損及性能或校準(zhǔn)。但是，為了避免顆?；蛞后w等污染進(jìn)入設(shè)備，建議您不要將變送器的法蘭口向上安裝。
問(wèn): 變送器可以承受瞬間通風(fēng)嗎?
答: 可以，冷陰極傳感器元件對(duì)機(jī)械力的耐受力，可以承受連續(xù)壓力循環(huán)和瞬間空氣通風(fēng)。不建議在冷陰極開(kāi)啟時(shí)執(zhí)行瞬間通風(fēng)。
問(wèn): 可否連接將由變送器繼電器觸點(diǎn)控制的閥門(mén)?
答: 閥門(mén)等驅(qū)動(dòng)感應(yīng)式負(fù)載需要采取特殊的預(yù)防措施。請(qǐng)參閱第 4.4 章。
問(wèn): 變送器可以承受多少次壓力循環(huán)?
答: 冷陰極傳感器元件對(duì)壓力變化的機(jī)械承受力很強(qiáng)，壓力循環(huán)的次數(shù)不會(huì)影響變送器的使用壽命。在出現(xiàn)快速壓力循環(huán)的應(yīng)用中，冷陰極傳感器可能發(fā)生濺射，從而導(dǎo)致精度變化。
問(wèn): 冷陰極傳感器腔室變色了，這是為什么?
答: 如果冷陰極在高壓 (>1.00E-4 毫巴) 下操作，則冷陰極離子化電池的內(nèi)壁可能被濺射。這將改變內(nèi)部測(cè)量腔室的顏色，還有可能導(dǎo)致測(cè)量精度變化。
模擬輸出
問(wèn): 模擬輸出的更新率是?
答: 每秒 16 次。
問(wèn): 模擬輸出電纜的長(zhǎng)度是?
答: 模擬電纜長(zhǎng)度取決于電纜質(zhì)量和電氣噪音環(huán)境，但除了電纜必須屏蔽之外，對(duì)長(zhǎng)達(dá) 100 米的電纜長(zhǎng)度一般不需要采取任何特殊的預(yù)防措施。
問(wèn): 數(shù)字讀數(shù)正確，但模擬輸出讀數(shù)與實(shí)際壓力有些偏差，怎么辦?
答: 檢查確保模擬輸出連接到浮置輸入，而非接地輸入。如果連接的模擬輸出回路接地，電源電流將流入信號(hào)線路，并導(dǎo)致壓降和接地回路的形成。
數(shù)字輸出
問(wèn): 通過(guò)數(shù)字接口請(qǐng)求壓力測(cè)量的速度有多快?
答: 每秒 10 次是推薦的壓力請(qǐng)求頻率。
問(wèn): 從開(kāi)機(jī)到有效測(cè)量值要等多長(zhǎng)時(shí)間?
答: 開(kāi)機(jī)順序約為 2 秒。開(kāi)機(jī)順序期間，燈環(huán)亮起紅光，數(shù)字接口對(duì)命令無(wú)回應(yīng)。開(kāi)啟高壓后，冷陰極會(huì)進(jìn)行幾分鐘穩(wěn)定。
問(wèn): 變送器數(shù)字通信回應(yīng)中為何有時(shí)會(huì)丟失首字符?
答: 這可能是由變送器通信回應(yīng)過(guò)快而導(dǎo)致的。請(qǐng)參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232)。
校準(zhǔn)和調(diào)整
問(wèn): 變送器需要的校準(zhǔn)或零位調(diào)整頻率是?
答: 這取決于應(yīng)用和壓力范圍，但是在眾多應(yīng)用中無(wú)需用戶調(diào)整。暫時(shí)或影響測(cè)量性能的因素是污染、腐蝕、熱和電子干擾。
問(wèn): 電源關(guān)閉后，變送器是否會(huì)保留用戶校準(zhǔn)?
答: 會(huì)，包括校準(zhǔn)資料在內(nèi)的所有變送器參數(shù)都存儲(chǔ)在變送器的非易失性存儲(chǔ)器內(nèi)。
服務(wù)和維修
問(wèn): 如果傳感器元件被污染，能否更換?
答: 能，可遵循第 9 章說(shuō)明的步驟更換冷陰極陽(yáng)極和陰極片。
問(wèn): +24 伏直流電源電壓連接到了模擬輸出+。變送器是否損壞?
答: 有可能，在向輸出引腳通電時(shí)，模擬輸出不受保護(hù)。
問(wèn): 反向電壓連接到了電源輸入。變送器是否損壞?
答: 不太可能，變送器電源電路具有反向電壓和超壓保護(hù)，但是 Leybold 不保證變送器不會(huì)因此損壞。
問(wèn): 狀態(tài) LED 為何不斷亮起紅光?
答: 當(dāng)冷陰極已開(kāi)啟，但未成功引燃 5 分鐘后，此 LED 將變?yōu)榧t光。
應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
· 一般真空壓力測(cè)量
· 涂料
· 質(zhì)譜儀控制
· 系統(tǒng)過(guò)程控制
· 檢測(cè)異常壓力，利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>
· 控制系統(tǒng)基礎(chǔ)壓力
測(cè)量原理: | 冷陰極離子化電流 | ||
測(cè)量范圍 (N2 和空氣): | 1×10-8 至 5×10-3 毫巴 | ||
精確度 (1) (N2): | 1×10-8 至 1x10-3 毫巴: | 讀數(shù)的 ±30% | |
重復(fù)性 (1) (N2): | 1x10-8 至 1x10-3 毫巴: | 讀數(shù)的 ±30% | |
電源電壓: | 9-30 伏直流 | ||
功耗: | < 2 瓦 | ||
熔絲 (熱可恢復(fù)): | 200 毫安 | ||
模擬輸出: | 2-9.6 伏直流，Log. 1.33 伏直流/十進(jìn)制 | ||
模擬輸出 1 分辨率: | 16 位 | ||
模擬輸出阻抗: | 100 歐 | ||
模擬輸出更新率: | 16 赫茲 | ||
電壓輸出 (如果 CC 未引燃): | 0.4 伏直流 | ||
機(jī)械設(shè)定點(diǎn)繼電器: | |||
P/N: 15734V02, 15736V02: | 0 | ||
P/N: 89642V02: | 3 | ||
設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍: | 1×10-8 至 5×10-3 毫巴 | ||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載) | ||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻: | 100 毫歐 (值) | ||
設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間: | <100 毫秒 | ||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: | 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載) | ||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: | 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載) | ||
軟件設(shè)定點(diǎn)繼電器: | |||
P/N: 230703V02: | 2 | ||
設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間: | < 20 毫秒 | ||
材料暴露于真空 (2): | 304 號(hào)不銹鋼、密封材料 FPM | ||
內(nèi)部容積: | KF25 | 28.6 厘米3 | |
CF40 | 32.7 厘米3 | ||
外殼材質(zhì): | 304 號(hào)不銹鋼 | ||
法蘭材質(zhì): | 304 號(hào)不銹鋼 | ||
重量: | P/N: 15734V02、89642V02: | 321 克 | |
P/N: 230703V02: | 600 克 | ||
P/N: 230281V02: | 318 克 | ||
允許壓力: | 6 巴 | ||
運(yùn)行溫度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) | ||
烘烤溫度 (電源關(guān)閉): | 85 °C (185 °F) | ||
燈絲溫度: | 超過(guò)室溫 35 °C | ||
異物防護(hù)等級(jí): | IP40 | ||
泄漏速率: | < 5?0-9 毫巴?升/秒 | ||
零件 |
產(chǎn)品號(hào) |
PTR 225 N、DN 25 KF | 15734V02 |
PTR 225 N、DN 25 KF、RS232、3SP | 89642V02 |
PTR 225 N、EtherCat、DN 25 KF | 230703V02 |
PTR 237 N、DN 40 CF | 15736V02 |
陰極替換片 PTR 90 N / PTR 225 N | EK16291V02 |
陽(yáng)極替換環(huán) PTR 90 N / PTR 225 N | V02 |
Display 1 | 230001 |
Display 2 | 230024 |
Display 3 | 230025 |
Graphix 1 | 230680V01 |
Graphix 2 | 230681V01 |
Graphix 3 | 230682V01 |
A 型電纜，5 米 | 12426 |
A 型電纜，10 米 | 230012 |
A 型電纜，15 米 | 12427 |
A 型電纜，20 米 | 12428 |
A 型電纜，30 米 | 12429 |
A 型電纜，50 米 | 12431 |
A 型電纜，75 米 | 12432 |
A 型電纜，100 米 | 12433 |
螺旋管 DN 25 ISO-KF | 230083 |
定心環(huán) (1.4305 號(hào)不銹鋼)，含 O 型環(huán) | 88374 |
定心環(huán) (不銹鋼)，含燒結(jié)金屬過(guò)濾器 | 88352 |
卡環(huán) (鋁) | 210043 |
隔板，含定心環(huán) (FPM) | 230078 |
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