TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT
W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)
典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝
- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室
- 粒子加速器
- 科研
- 鍍膜系統(tǒng)
技術(shù)特點(diǎn)
- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)
- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控
- 噪聲和振動(dòng)低
- 任意方向安裝
- 的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高抽速和高前級(jí)耐壓
- 智能電源控制系統(tǒng)
- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）
- C版耐腐蝕
客戶得益
- 免維護(hù)
- 所有工藝氣體都有高氣載量
- 極限低，抽速高
- 前級(jí)耐壓高
- 同類中重量較輕，尺寸較小
- 耐粉塵
- 溫控達(dá) 90 °C (194 °F)，避免沉積物
（CT版）
- 高耐腐蝕性-CT版
- 氣體吹掃系統(tǒng)
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技術(shù)特點(diǎn)
- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)
- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控
- 噪聲和振動(dòng)低
- 任意方向安裝
- 的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高抽速和高前級(jí)耐壓
- 智能電源控制系統(tǒng)
- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）
- C版耐腐蝕
客戶得益
- 免維護(hù)
- 所有工藝氣體都有高氣載量
- 極限低，抽速高
- 前級(jí)耐壓高
- 同類中重量輕，尺寸小
- 耐粉塵
- 溫控達(dá) 90 °C (194 °F)，避免沉積物
（CT版）
- 高耐腐蝕性-CT版
- 氣體吹掃系統(tǒng)
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典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝
- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室
- 粒子加速器
- 科研
- 鍍膜系統(tǒng)
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技術(shù)參數(shù) TURBOVAC MAG W 1500 CT | ||||||
進(jìn)氣口 | DN | 200 ISO-F | 250 ISO-F | 200 CF | ||
PNEUROP的抽速 | ||||||
氮?dú)?/span> | I x s-1 | 1100 | 1220 | 1100 | ||
氬氣 | I x s-1 | 1050 | 1180 | 1050 | ||
氦氣 | I x s-1 | 1100 | 1200 | 1100 | ||
氫氣 | I x s-1 | 920 | 1020 | 920 | ||
額定轉(zhuǎn)速 | min-1 | 36 000 | 36 000 | 36 000 | ||
壓縮比 | ||||||
氮?dú)?/span> | > 108 | > 108 | > 108 | |||
極限壓強(qiáng)，根據(jù) DIN 28 400 | ||||||
mbar (Torr) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 10-8 (< 0 75 x 10-8) | < 10-10 (< 0 75 10-10) | |||
前級(jí)耐壓（對(duì)氮?dú)猓?/span> | mbar (Torr) | 2 6 (1 95) | 2 6 (1 95) | 2 6 (1 95) | ||
推薦的前級(jí)泵 | ||||||
抽速達(dá)100m3/h的旋片泵或干泵 | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | |||
啟動(dòng)時(shí)間 | ||||||
達(dá)95%名義轉(zhuǎn)度時(shí) | min | < 6 | < 6 | < 6 | ||
出氣口外形尺寸 | DN | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | ||
吹掃和破空口 | VCR | 1/4" | 1/4" | 1/4" | ||
冷卻水接口 | ||||||
（管道外徑） | mm (in ) | 6 4 (0 25) | 6 4 (0 25) | 6 4 (0 25) | ||
重量（近似） | kg (lbs) | 32 (70 6) | 32 (70 6) | 32 (70 6) | ||
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