12X近紫外DI光刻機-標準單臺面
| 類別 | 項目描述 | KST-DI2824-12FHS | 備注 | |
| 基材 | 基材尺寸（MAX） | 740mm x 638mm | ||
| 基材尺寸（MIN） | 740mm x 510mm[可壓邊]304mm x 304mm[不可壓邊] | |||
| 基材厚度 | 0.05-3.5mm | |||
| 壓板機構 | 針對客戶板定制 | 工藝不同 | ||
| 解析度L/S | 橋/開窗尺寸 | 50um/75um | ||
| 線寬解析精度 | ±5um | |||
| 光源景深 | ±300um | |||
| 制程 | 感光材料 | 普通防焊油墨；高亮油墨；LDI專用油墨； | ||
| 均勻性 | 大于等于90% | |||
| 光源頻譜 | 385~405nm | |||
| 光源總功率 | 528W | |||
| 應用范圍 | 硬板，柔性板，軟硬結合板 | |||
| 適用工序 | 防焊工藝；阻焊工藝； | |||
| 文件輸入形式 | 資料輸入 | Gerber274X；Gerber274D(強烈不推薦此種格式) | ||
| 裝機需求 | 電源供應 | 三相，AC380V 50HZ 15KW | 不含冰水機等功率 | |
| 純凈水需求 | 15~20L（風冷冰水機，水冷冰水機） | |||
| 單機設備重量 | 4500kg(參考值，不同配置重量不同) | |||
| 外形尺寸(參考) | (W * D * H) 1550mm X2750mm X2150mm | |||
| 無塵環(huán)境溫度 | 22±2°C | |||
| 相對環(huán)境濕度 | 45~60%（不結露） | |||
| 無塵等級 | 10W CLASS 或以上 | |||
| 特殊應用 | 圖形漲縮管理 | 固定漲縮；測量漲縮；自動漲縮； | ||
| 掃碼MARK功能 | 打印日期；時間；序號；漲縮系數等； | |||
| 應用管理 | 漲縮管理 | 局部漲縮；區(qū)域漲縮； | ||
| 資料輸入 | ODB++ | |||
| 有孔對位 | 正面對位 | |||
| 臺面系統(tǒng)定制 | 壓板機構 | |||
| 多區(qū)域曝光 | 有 | |||
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