深圳市藍星宇電子科技有限公司

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2021-07-20 20:24:31475
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英國Oxford反應離子刻蝕機PlasmaPro800RIE,是結構緊湊、且使用方便的直開式系統(tǒng),該系統(tǒng)為大批量晶圓和300mm晶圓上的反應離子蝕刻(RIE)工藝提供了靈活的解決方案。大尺寸的晶圓平臺能夠處理量產(chǎn)級別的批量以及300

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