深圳市藍星宇電子科技有限公司

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2021-07-22 20:40:14576
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NIE-4000離子束刻蝕系統(tǒng),NIR-4000IBE/RIE雙刻蝕系統(tǒng),通過加速的Ar離子進行物理刻蝕或銑削。對于硅的化合物也可以通過反應離子束刻蝕的方式提高刻蝕速率和深寬比。

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