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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介：產(chǎn)品名稱：真空加熱探針臺產(chǎn)品型號：CPPSSZ32真空度：優(yōu)于5Pa加熱溫度：300℃

詳細介紹

真空加熱探針臺.jpg

名稱：真空加熱探針臺

型號：CPPSSZ32

外形尺寸：450×600×1200mm（加整體焊接支架）

產(chǎn)品應(yīng)用：晶圓/半導(dǎo)體材料氣敏測試，IV,CV,PIV測試，高溫?zé)o氧化測試等

適用于樣品尺寸：低于4英寸

真空獲得方式：機械泵抽真空

樣品盤加熱溫度：300℃，溫控精度±1℃

測試漏電流精度：100fA

探針調(diào)節(jié)精度：10微米（也可選擇5微米，3微米，1微米精度）

CPPSSZ系列真空加熱探針臺配置單
真空腔	尺寸320×230×210mm，材質(zhì)優(yōu)質(zhì)鋁合金，內(nèi)表面電解拋光，外表面陽極氧化本色
	上蓋40直徑石英觀察窗，可開啟，下表面可以和光學(xué)平臺直接連接
	配有多個接口，2個KF16,4個KF25,一個備用充氣口，一個旋轉(zhuǎn)控制閥門，一個放氣閥門口
溫控樣品盤	尺寸4英寸，鋁合金材質(zhì)，平面度5微米
溫控樣品盤	溫控儀采用日本島電溫控器，顯示精度0.1℃，溫控精度±1℃，可達300℃
探針座	10微米三維調(diào)節(jié)，可調(diào)磁力底座，萬向調(diào)節(jié)夾具，配備美國進口愛默生線和進口三同軸接口
真空獲得以及測量系統(tǒng)	采用成都睿寶真空計，安裝1個全金屬電阻規(guī)
真空獲得以及測量系統(tǒng)	真空泵選擇合資機械泵，抽速6L/秒
顯微鏡系統(tǒng)	放大倍數(shù)7-180倍無級調(diào)節(jié)，500萬像素，搭配8寸顯示器，匹配萬向調(diào)節(jié)架和升降臺，可以無級調(diào)節(jié)