3微米多功能探針座

產(chǎn)品信息：

◆主體材質(zhì)采用進口航空鋁，在保證穩(wěn)定性的同時，保證線性移動精度

◆位移部分采用高精密交叉滾柱導軌，超高精度

◆整體驅(qū)動采用精密測微頭，定量讀數(shù)，精確控制

◆匹配多功能調(diào)節(jié)探針夾具，旋鈕調(diào)節(jié)固定，既增加了調(diào)節(jié)度，又提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

◆升級1：增加了Z軸粗調(diào)，可以通過螺釘鎖緊，方便可以快速調(diào)整探針

◆底部*可調(diào)磁性底座，可以通過旋鈕調(diào)節(jié)磁力的有無，磁性吸附5Kg，保證了整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性

◆此款探針座外形小，且結(jié)構(gòu)比較長，適用于狹小得空間，且特別適合大尺寸晶圓測試

產(chǎn)品特點：
◆探針位移行程：XYZ三維分別13mm+180°旋轉(zhuǎn)+60°傾斜

◆整體結(jié)構(gòu)外形尺寸：198mm×83mm×82mm（LWH）

◆探針整體位移精度：3μm

◆漏電精度：同軸線纜（10pA）

            進口三同軸線纜（100fA）

◆可選接頭：同軸線纜可選擇BNC、鱷魚夾、香蕉插頭

            進口三同軸線纜只能選擇三同軸接口(Triaxial)

◆測量范圍：電流：10pA/100fA-10A

            電壓：1000V

產(chǎn)品應用：
適用于R/F量測、I/O點量測、直流DC測試 、晶圓測試、電阻電壓測試、太陽能電池測試、光電流測試、半導體器件分析測試等