詳細(xì)介紹
膜厚測量橢偏儀
型號: Smart SE
廠家:HORIBA Jobin Yvon
產(chǎn)地:法國
技術(shù)指標(biāo):
光譜范圍:450-1000nm
· 多種微光斑自動(dòng)選擇,精度<1nm
· 光斑可視技術(shù),可觀測任何樣品表面
· CCD探測器
· 自動(dòng)樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向
· 自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
主要功能及應(yīng)用范圍:測試各種透明薄膜膜厚。