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詳細(xì)介紹
MX61/MX61L
產(chǎn)品特點(diǎn):
半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
• 大型載物臺(tái)搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓全面檢查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
• 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
• 透射和反射照明可同時(shí)使用, 極大提高液晶基板觀察效果
MX61/MX61L詳細(xì)規(guī)格:
型號(hào) | MX61型顯微鏡 | MX61L型顯微鏡 |
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)） | |
顯微鏡鏡體 | 射光照明（F.N. 26.5） | 12V100W鹵素?zé)襞荩A(yù)定心型） 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)反射鏡可外加1個(gè)分光鏡組（選配） ，轉(zhuǎn)換使用 內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌（每個(gè)物鏡可預(yù)設(shè)，物鏡轉(zhuǎn)換時(shí)自動(dòng)轉(zhuǎn)換，暗視場(chǎng)觀測(cè)時(shí)自動(dòng)打開(kāi)） |
透射光照明*(F.N. 26.5) | 進(jìn)行透射光照明時(shí)要配合使用MX-TILLA或MX-TILLB。 采用LG-PS2型光源和LG-SF型光源附件（12V100W鹵素?zé)簦┗蛲裙庠催M(jìn)行照射。 MX-TILLA：聚光鏡（N.A. 0.5），帶孔徑光闌 MX-TILLB：聚光鏡（N.A. 0.6），帶孔徑和視場(chǎng)光闌 | |
觀測(cè)方法 | ①反射光明視場(chǎng)法；②反射光暗視場(chǎng)法；③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法；④反射光簡(jiǎn)單偏振法；⑤反射光熒光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明視場(chǎng)法；⑧透射光簡(jiǎn)單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。 | |
觀察鏡筒 | 超寬場(chǎng)正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型 其它：超寬場(chǎng)三目鏡筒/寬場(chǎng)雙目鏡筒 | 超寬場(chǎng)正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的標(biāo)準(zhǔn)配置） |
換鏡轉(zhuǎn)盤 | 電動(dòng)六孔換鏡轉(zhuǎn)盤，配備滑槽，用于微分干涉襯比法觀測(cè)：U-D6REMC型 電動(dòng)五孔明/暗視野法用轉(zhuǎn)盤，配備滑槽用于微分干涉襯比法觀測(cè)：U-D5BDREMC型 電動(dòng)五孔定心換鏡轉(zhuǎn)盤，配備滑槽，用于微分干涉襯比法觀測(cè)：U-P5REMC型 通過(guò)顯微鏡前面板上的物鏡轉(zhuǎn)換按鈕或直接通過(guò)U-HSTR2（控制轉(zhuǎn)換 | |
載物臺(tái) | MX-SIC8R 8英寸×8英寸 行程：210×210mm（透射光照明面積：189 x 189 mm） MX-SIC6A 6英寸×6英寸 行程：158×158mm（只能使用反射光） | MX-SIC1412R2 14英寸×12英寸 行程：356×305mm （透射光照明面積：356×284mm） 與MX-TILLB配合使用 |
滾柱導(dǎo)塊結(jié)構(gòu)，帶式驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)（無(wú)齒條） ，離合功能（帶式驅(qū)動(dòng)脫離系統(tǒng)） | ||
能耗 | 內(nèi)置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz 透射光源（LG-PS2） ：100-120/220-240V~3.0/1.8A 50/60 Hz | |
體積/重量 | 體積：約509（寬）×843（長(zhǎng)）×507（高）mm 重量：約40kg（載物臺(tái)約重27kg） | 體積：約710（寬）×843（長(zhǎng)）×507（高）mm 重量：約51kg（載物臺(tái)約重31kg） |
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