詳細介紹
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MSHOT MJ-G600 工具金相顯微鏡
MSHOT MJ-G600 有一套優(yōu)良的光學(xué)系統(tǒng),可以提供一個平坦的消色差的圖像,整個視場的色差很少,使得圖象更加銳利,影像更加逼真。MSHOT MJ-G600的長工作距離物鏡頂面和工件表面之間可以有一個寬闊的空間,便于對工件作業(yè)。
MSHOT MJ-G600 適用于半導(dǎo)體封裝、FPD面板、焊接貼片、光纖端子臺階測量、MEMS、晶片級CSP、硬盤滑行磁頭等領(lǐng)域。
MSHOT MJ-G600 結(jié)構(gòu)說明:
三目頭:適合使用顯微鏡照相設(shè)備的配置。
LED照明器:高強度白色led照明器。
Z軸電動移動:專用的控制器使得上下移動更方便、精確。
數(shù)據(jù)處理器:
適用于數(shù)字化光柵測量及視頻測量的多功能數(shù)顯處理系統(tǒng)。
Z軸輔助對焦:FA功能提高z軸測量精度
準(zhǔn)直的透射光:輪廓測量,提高測量精度
MSHOT MJ-G600 特點:
01.清晰無閃爍正像觀測,視場寬闊
02.數(shù)字成像和影像測量技術(shù)
03.更大的載物臺,測量行程提高了對工件的處理能力
04.非接觸式z軸高度測量與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的協(xié)同工作
05.低倍率到高倍率平滑轉(zhuǎn)換
06.多種照明選擇
07.光學(xué)十字聯(lián)動
08.人機工程學(xué)設(shè)計
09.可變孔徑光闌可消除觀測與測量中的光衍射
10.標(biāo)準(zhǔn)測量顯微鏡,可選配件包括影像系統(tǒng)與各種數(shù)字ccd相機
輔助對焦(FA)測定方法:
輔助對焦(FA)測定原理圖
顯微鏡 MSHOT MJ-G600 有一個精確的焦點以確保顯微鏡的格子線上半?yún)^(qū)和下半?yún)^(qū)的垂直索引線與兩條直線的精準(zhǔn)一致性,這樣就不會必須根據(jù)標(biāo)本圖像外觀的清晰與否而對其進行矯正的煩擾了。與其他調(diào)焦系統(tǒng)相比較,由于這是一個*的系統(tǒng),即不受物鏡焦點深度的影響,也不依賴人們?nèi)庋鄣哪芰韰^(qū)分這兩個點,該系統(tǒng)能非常精準(zhǔn)的判斷出焦點所在位置。該調(diào)焦系統(tǒng)和數(shù)字測量儀表允許面與面之間短距離高度的非接觸式、高精密測量。
MSHOT MJ-G600 標(biāo)準(zhǔn)配置 | ||||
鏡筒 | 雙目鏡筒,帶有標(biāo)準(zhǔn)相機接口;十字線(交叉虛線);光路徑轉(zhuǎn)換(觀測/相機=50/50) | |||
圖像 | 正像 | |||
觀測方法 | 明場觀測 | |||
屈光度可調(diào)目鏡 | 10x(視場數(shù)20mm),20x | |||
物鏡 | 標(biāo)配物鏡5x、10x、20x、50x、100x | |||
調(diào)焦系統(tǒng) | Z軸電動控制(快、中、慢三種調(diào)節(jié)方式) | |||
光源 | 透射(led照明器,準(zhǔn)直光) | |||
落射(led照明器,同軸光) | ||||
照明裝置 | 可調(diào)孔徑光闌、視場光闌 | |||
長度測量系統(tǒng) | 高精度數(shù)顯光柵尺,1um、0.5um、0.1um | |||
工作臺 | 測量范圍:300*200mm,250*150mm,200*150mm;200*100mm,100*100mm,50*50mm; 或定制平臺尺寸 | |||
快速釋放裝置:x和y軸標(biāo)配 | ||||
調(diào)零開關(guān):x、y、z軸選配 | ||||
數(shù)顯計數(shù)器 | 最小讀數(shù)0.1um,RS232C輸出 | |||
外部尺寸(寬*深*高) | 380*705*725mm | |||
測量精度 | X和y:3+L/200,3-L/200,L為測量長度 | |||
Z軸 | 行程:200mm | |||
調(diào)焦方法:電動手輪控制調(diào)節(jié) | ||||
線性刻度尺:內(nèi)置 |
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