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詳細(xì)介紹
Form Talysurf 電感式系統(tǒng)特點(diǎn):
1mm 垂直量程/16nm 分辨率
◆提供精密金屬成形和其他應(yīng)用的形狀（輪廓）以及表面粗糙度測(cè)量功能。
200mm 水平驅(qū)動(dòng)
◆應(yīng)用于電感式系統(tǒng)，以提供增強(qiáng)的測(cè)量量程。也可以標(biāo)準(zhǔn) 60mm 和 120mm 版本。60mm版本允許7x8mm的取樣長(zhǎng)度使測(cè)量符合 ISO4288。
0.50um/120mm 直線度誤差
◆適用于輪廓測(cè)量?？蛇x的基準(zhǔn)校正包。
0.125um 橫向數(shù)據(jù)間隔
◆能夠測(cè)量小型組件和特征?？s短了啟動(dòng)長(zhǎng)度和停止長(zhǎng)度；進(jìn)一步提高了可用性。
450mm 機(jī)動(dòng)立柱
◆當(dāng)無法測(cè)量到零部件的特征時(shí)，機(jī)動(dòng)傾斜版本可用于提供應(yīng)用靈活性。
功能:
◆Form Talysurf電感式系統(tǒng)包括測(cè)量表面粗糙度的重要內(nèi)容。包括基本粗糙度和波紋度參數(shù)，以及形狀誤差分析、特征去除、縮放工具和車間應(yīng)用的可編程性。
形狀分析
◆測(cè)量并計(jì)算半徑、角度（斜度）和尺寸
用戶界面
◆結(jié)合系統(tǒng)可編程性，提供正確的車間解決方案；可根據(jù)用戶要 求定制。
雙輪廓分析
◆允許比較測(cè)量以確定磨損、公差等。
Ultra輪廓分析
◆用于尺寸應(yīng)用的單獨(dú)軟件實(shí)用程序，可以直接比較設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)和測(cè)量值，并獲得誤差結(jié)果。還可為應(yīng)用提供其他硬件。
Talymap 3D分析
◆用于形貌應(yīng)用的單獨(dú)軟件實(shí)用程序；還需要其他硬件。
技術(shù)參數(shù):
水平性能 | Form Talysurf i60 | Form Talysurf i120 | Form Talysurf i200 |
驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度- X | 60mm / 0.1mm | 120mm / 0.1mm | 200mm / 0.1mm |
驅(qū)動(dòng)/測(cè)量速度 | 10mm/s -- 0.1mm/s, 0.25mm/s, 0.5mm/s 和1mm/s | ||
X方向的數(shù)據(jù)取樣間隔 | 0.125μm [ 0.1mm到120mm長(zhǎng)度] | ||
直線度不確定度(Pt) | 0.5μm / 60mm | 0.5μm / 120mm | 0.75μm / 200mm |
直線度重復(fù)性 (PV) | 0.15μm | 0.15μm | 0.2μm |
垂直性能 | |||
標(biāo)稱測(cè)量量程(Z） | 量程1=1mm，量程2= 0.2mm | ||
分辨率(Z) | 量程1=16nm，量程2=3.2nm | ||
量程與分辨率的比率 | 65,536 : 1 | ||
測(cè)針臂長(zhǎng)度，針尖半徑，測(cè)力 | 60mm臂, 2μm半徑錐球形金剛石, 1mN測(cè)力 | ||
Z軸非線性 | (0.05 Z [mm] ) μm (50 Z [英寸] )微英寸(Z =傳感器位移) | ||
Z軸示值重復(fù)性 | 平面- 0.05μm，曲面- 0.05μm | ||
系統(tǒng)性能 | |||
球形標(biāo)準(zhǔn)器 | 12.5mm (0.49英寸)標(biāo)稱半徑標(biāo)準(zhǔn)器 | ||
標(biāo)定Pt | 0.25μm | ||
系統(tǒng)噪音- Rq | 量程1=15nm，量程2=8nm | ||
半徑測(cè)量不確定度 | 0.1 - 22mm= 標(biāo)準(zhǔn)值的1%到0.015%，22 - 1000mm= 標(biāo)準(zhǔn)值的0.02%到0.1% | ||
傾角測(cè)量不確定度 | 0.5 弧分的不確定度(+ / - 35°的量程) | ||
尺寸L x D x H (花崗巖基動(dòng)立柱 | 450mm (17.7英寸)垂直驅(qū)動(dòng) | ||
*產(chǎn)品信息僅供參考，型號(hào)和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時(shí)更改
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