詳細(xì)介紹
光譜共焦線傳感器原理圖
MPLS-DM包含該了180個(gè)獨(dú)立的光譜共焦通道,每個(gè)通道測(cè)量樣品表面上的單個(gè)點(diǎn),并包含自己的點(diǎn)源,針孔和光譜儀。
在MPLS-DM中,控制器和光學(xué)頭通過(guò)連個(gè)光纖束連接。
束將控制器的內(nèi)部光源連接到鏡頭的入射面;
180束光纖電纜的成為180個(gè)通道點(diǎn)光源。
第二束連接光譜儀輸出平面;180根光纖的實(shí)現(xiàn)了180個(gè)通道的針孔。
STIL光譜共焦線掃傳感器技術(shù)參數(shù)
線掃傳感器型號(hào) | unit | MPLS-DM NANOVIEW | MPLS-DM WIREVIEW | MPLS-DM MICROVIEW | MPLS-DM DEEPVIEW | MPLS-DM SUPERIEW | ||||
線長(zhǎng) | mm | 1.34 | 1.51 | 1.8 | 4.2 | 12.85 | ||||
測(cè)量范圍(2KHZ) | mm | 0.1 | 0.9 | 0.5 | 2.6 | 2 | ||||
測(cè)量范圍(4KHZ) | mm | 0.045 | 0.45 | 0.235 | 1.45 | 0.9 | ||||
測(cè)量范圍(6KHZ) | mm | 0.025 | 0.24 | 0.12 | 0.65 | 0.5 | ||||
工作距離 | mm | 7.5 | 7.8 | 10.1 | 19.5 | 11.3 | ||||
數(shù)值孔徑 | 0.75 | 0.75 | 0.5 | 0.37 | 0.33 | |||||
樣品斜度 | ° | 40 | 46 | 30 | 20 | 17 | ||||
光斑間距 | μm | 7.5 | 8.5 | 10.1 | 23.5 | 71.8 | ||||
光斑直徑 | μm | 2.9 | 3.2 | 3.8 | 8.8 | 27.2 | ||||
靜態(tài)噪音 | nm | 25 | 150 | 100 | 300 | 300 | ||||
軸向分辨率 | μm | 0.15 | 0.9 | 0.6 | 1.8 | 1.8 | ||||
線性誤差 | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.08 | ±0.12 | ±0.12 | ||||
均勻性 | nm | 30 | 200 | 125 | 400 | 400 | ||||
最小可測(cè)厚度 | μm | 18 | 110 | 50 | 250 | 300 | ||||
長(zhǎng)度 | mm | 434.4 | 480.7 | 425.6 | 428.3 | 397.8 | ||||
直徑 | mm | 50 | 70 | 50 | 60 | 60 | ||||
重量 | g | 1600 | 2200 | 1600 | 2800 | 2550 |
備注:
.測(cè)量范圍(MR),表中的數(shù)值是一臺(tái)MPLS的標(biāo)稱值;
.工作距離,是光學(xué)頭至測(cè)量范圍開(kāi)始端之間的距離,表中數(shù)值是典型值;
.線性誤差,是將傳感器測(cè)得的距離長(zhǎng)度與1nm編碼器測(cè)得的長(zhǎng)度進(jìn)行比較,觀察到的誤差。該步驟可位于MR內(nèi)部任何位置。出廠校準(zhǔn)后立刻在如下條件下測(cè)量此功能:
-每套通道的測(cè)量進(jìn)行平均,以消除靜態(tài)噪聲;
-信號(hào)電平較高,但不飽和;
.樣品斜度,光軸和局部表面坡度之間的夾角??蓽y(cè)傾斜角適用于鏡面(鏡狀樣品)表面。散射表面,角度可能更大。當(dāng)傾斜角度增加時(shí),收集信號(hào)的強(qiáng)度會(huì)減小。該表中的值是鏡面上測(cè)得的;
.均勻性是由一個(gè)MPLS-DM傳感器的180個(gè)通道在一個(gè)對(duì)齊平面上測(cè)量的值的變化量(RMS)。此功能在工廠校準(zhǔn)后立即測(cè)量,并具有的條件和設(shè)置;
.標(biāo)配光譜共焦線傳感器出廠都是按照2KHZ采樣頻率標(biāo)定,如果需要使用4K或者6K采樣頻率,訂貨時(shí)請(qǐng)?zhí)崆白⒚鳎瑫r(shí)注意采樣頻率提高后,測(cè)量范圍會(huì)相應(yīng)變小,詳情可參考上面參數(shù);
控制器技術(shù)規(guī)格
控制器 | MPLS-DM |
核心原理 | 光譜共聚焦 |
光源 | 白色LED燈 |
點(diǎn)數(shù) | 180 |
采樣頻率 | 標(biāo)配200-2000HZ(可達(dá)6000HZ,但量程會(huì)變小) |
位移測(cè)量模式 | Highest/First/Second/Third/Fourth/Last Peak |
厚度測(cè)量模式 | 2-5個(gè)波峰 |
數(shù)據(jù)輸出 | 以太網(wǎng)口 |
同步信號(hào) | Trigger in&out |
其它輸入/輸出信號(hào) | 編碼器信號(hào)輸入 |
光纖線長(zhǎng)度 | 5m |
工作溫度 | 5℃-50℃ |
存儲(chǔ)溫度 | -30℃-70℃ |
相對(duì)濕度 | 5%-80% HR無(wú)冷凝 |
防護(hù)等級(jí) | IP20 |
符合標(biāo)準(zhǔn) | EN61010-1;EN61326-1 |
電源 | 100-240V |
/常用功率 | 120W/70W |
外形尺寸(mm) | 448.9*184*497 |
重量 | 14.5KG |
STIL光譜共焦線掃傳感器測(cè)頭和控制器外形尺寸
傳感器探頭外形(詳見(jiàn)上述參數(shù)表)
控制器外形
STIL光譜共焦線掃傳感器的相關(guān)軟件
線傳感器需要配備win7以上操作系統(tǒng),SDK與傳感器一起提供,包括:
-C++動(dòng)態(tài)庫(kù)源代碼
-NET動(dòng)態(tài)庫(kù)
-“線傳感器示例”程序
-傳感器用戶手冊(cè)和操作說(shuō)明
使用"線傳感器",可完成即時(shí)任務(wù):
-連接傳感器
-保存且加載配置文件
-改變傳感器設(shè)置(LED強(qiáng)度、測(cè)量頻率、觸發(fā)選項(xiàng)...)
-啟動(dòng)測(cè)量,觀察,保存數(shù)據(jù)
-執(zhí)行用于校準(zhǔn)
程序已顯示模式:“線--線”和"圖像",在圖像模式下,每個(gè)板塊的N行線,顯示N*180大小的圖像
在"Line sensor Example"中顯示的"Line view"。180個(gè)橙色條表示測(cè)量距離,180個(gè)黑色條表示測(cè)量強(qiáng)度。
在"Line sensor Example"中顯示的"Image view"。每個(gè)像素的顏色表示高度值。