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STIL光譜共焦線掃傳感器

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更新時(shí)間:2021-07-29 14:02:53瀏覽次數(shù):427

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光譜共焦線掃傳感器高速測(cè)量(30000點(diǎn)/秒)控制器由千兆以太網(wǎng)進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸測(cè)頭高分辨率,高精度光譜共焦可測(cè)量任何材料對(duì)外部環(huán)境光線不敏感線率是2000lines/秒由180個(gè)點(diǎn)投射到樣品表成為一條線適合用于各種材料:金屬(拋光或者粗糙)、玻璃、陶瓷、塑料、硅

詳細(xì)介紹

光譜共焦線傳感器原理圖

MPLS-DM包含該了180個(gè)獨(dú)立的光譜共焦通道,每個(gè)通道測(cè)量樣品表面上的單個(gè)點(diǎn),并包含自己的點(diǎn)源,針孔和光譜儀。

在MPLS-DM中,控制器和光學(xué)頭通過(guò)連個(gè)光纖束連接。

束將控制器的內(nèi)部光源連接到鏡頭的入射面;

180束光纖電纜的成為180個(gè)通道點(diǎn)光源。

第二束連接光譜儀輸出平面;180根光纖的實(shí)現(xiàn)了180個(gè)通道的針孔。

 

 

STIL光譜共焦線掃傳感器技術(shù)參數(shù)

線掃傳感器型號(hào)unit

MPLS-DM

NANOVIEW

MPLS-DM

WIREVIEW

MPLS-DM

MICROVIEW

MPLS-DM

DEEPVIEW

MPLS-DM

SUPERIEW

線長(zhǎng)mm1.341.511.84.212.85
測(cè)量范圍(2KHZ)mm0.10.90.52.62
測(cè)量范圍(4KHZ)mm0.0450.450.2351.450.9
測(cè)量范圍(6KHZ)mm0.0250.240.120.650.5
工作距離mm7.57.810.119.511.3
數(shù)值孔徑 0.750.750.50.370.33
樣品斜度°4046302017
光斑間距μm7.58.510.123.571.8
光斑直徑μm2.93.23.88.827.2
靜態(tài)噪音nm25150100300300
軸向分辨率μm0.150.90.61.81.8
線性誤差μm±0.05±0.1±0.08±0.12±0.12
均勻性nm30200125400400
最小可測(cè)厚度μm1811050250300
長(zhǎng)度mm434.4480.7425.6428.3397.8
直徑mm5070506060
重量g16002200160028002550

備注:

.測(cè)量范圍(MR),表中的數(shù)值是一臺(tái)MPLS的標(biāo)稱值;

.工作距離,是光學(xué)頭至測(cè)量范圍開(kāi)始端之間的距離,表中數(shù)值是典型值;

.線性誤差,是將傳感器測(cè)得的距離長(zhǎng)度與1nm編碼器測(cè)得的長(zhǎng)度進(jìn)行比較,觀察到的誤差。該步驟可位于MR內(nèi)部任何位置。出廠校準(zhǔn)后立刻在如下條件下測(cè)量此功能:

-每套通道的測(cè)量進(jìn)行平均,以消除靜態(tài)噪聲;

-信號(hào)電平較高,但不飽和;

.樣品斜度,光軸和局部表面坡度之間的夾角??蓽y(cè)傾斜角適用于鏡面(鏡狀樣品)表面。散射表面,角度可能更大。當(dāng)傾斜角度增加時(shí),收集信號(hào)的強(qiáng)度會(huì)減小。該表中的值是鏡面上測(cè)得的;

.均勻性是由一個(gè)MPLS-DM傳感器的180個(gè)通道在一個(gè)對(duì)齊平面上測(cè)量的值的變化量(RMS)。此功能在工廠校準(zhǔn)后立即測(cè)量,并具有的條件和設(shè)置;

.標(biāo)配光譜共焦線傳感器出廠都是按照2KHZ采樣頻率標(biāo)定,如果需要使用4K或者6K采樣頻率,訂貨時(shí)請(qǐng)?zhí)崆白⒚鳎瑫r(shí)注意采樣頻率提高后,測(cè)量范圍會(huì)相應(yīng)變小,詳情可參考上面參數(shù);

 

控制器技術(shù)規(guī)格

 

控制器  MPLS-DM
核心原理光譜共聚焦
光源白色LED燈
點(diǎn)數(shù)180
采樣頻率標(biāo)配200-2000HZ(可達(dá)6000HZ,但量程會(huì)變小)
位移測(cè)量模式Highest/First/Second/Third/Fourth/Last Peak
厚度測(cè)量模式  2-5個(gè)波峰
數(shù)據(jù)輸出以太網(wǎng)口
同步信號(hào)Trigger in&out
其它輸入/輸出信號(hào)編碼器信號(hào)輸入
光纖線長(zhǎng)度5m
工作溫度5℃-50℃
存儲(chǔ)溫度-30℃-70℃
相對(duì)濕度5%-80% HR無(wú)冷凝
防護(hù)等級(jí)IP20
符合標(biāo)準(zhǔn)EN61010-1;EN61326-1
電源100-240V
/常用功率120W/70W
外形尺寸(mm)448.9*184*497
重量14.5KG

 

STIL光譜共焦線掃傳感器測(cè)頭和控制器外形尺寸

傳感器探頭外形(詳見(jiàn)上述參數(shù)表)

控制器外形

 

STIL光譜共焦線掃傳感器的相關(guān)軟件

線傳感器需要配備win7以上操作系統(tǒng),SDK與傳感器一起提供,包括:

-C++動(dòng)態(tài)庫(kù)源代碼

-NET動(dòng)態(tài)庫(kù)

-“線傳感器示例”程序

-傳感器用戶手冊(cè)和操作說(shuō)明

 

使用"線傳感器",可完成即時(shí)任務(wù):

-連接傳感器

-保存且加載配置文件

-改變傳感器設(shè)置(LED強(qiáng)度、測(cè)量頻率、觸發(fā)選項(xiàng)...)

-啟動(dòng)測(cè)量,觀察,保存數(shù)據(jù)

-執(zhí)行用于校準(zhǔn)

程序已顯示模式:“線--線”和"圖像",在圖像模式下,每個(gè)板塊的N行線,顯示N*180大小的圖像

在"Line sensor Example"中顯示的"Line view"。180個(gè)橙色條表示測(cè)量距離,180個(gè)黑色條表示測(cè)量強(qiáng)度。

在"Line sensor Example"中顯示的"Image view"。每個(gè)像素的顏色表示高度值。

 

 

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