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SQC-310 薄膜沉積控制器

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  • 型號(hào) SQC310
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  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地

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更新時(shí)間:2021-08-01 12:54:48瀏覽次數(shù):453

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高精確連續(xù)沉積控制或共沉積控制...

詳細(xì)介紹

功能

  • 高清晰 1/4 VGA 有源矩陣彩色 LCD 顯示器 – 提供有英文界面和中文界面
  • 標(biāo)準(zhǔn) RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網(wǎng))
  • 設(shè)有“Quick Setup"(快速設(shè)定)菜單、6 個(gè)區(qū)分上下文按鈕以及一個(gè)簡(jiǎn)便的參數(shù)設(shè)定旋鈕,易于設(shè)定和操作
  • 用于開(kāi)發(fā)、測(cè)試和下載過(guò)程的 Windows® 程序,以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進(jìn)行過(guò)程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序
  • 精確的過(guò)程控制,尤其適用于低沉積速率,測(cè)量速率為每秒 10 個(gè)讀數(shù),測(cè)量分辨率為 ±0.03 Hz
  • 存儲(chǔ)容量可達(dá) 100 個(gè)過(guò)程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
  • 使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料,提供精確的源分布監(jiān)控

規(guī)格

類型SQC-310
測(cè)量 
QCM 輸入
2 (4 optional)
頻率范圍
4 to 6 MHz
頻率分辨率
± 0.03 Hz at 0.10 sec measurement period
厚度分辨率(密度 = 1,z 比值 = 1)
0.0368 Å
頻率穩(wěn)定性
± 2 ppm total, 0 to 50C
測(cè)量速率
1 to 10 Hz
速率顯示
0.01 Å/sec
控制 
存儲(chǔ)
100 processes, 1000 layers, 50 films
控制輸出
2 (4 optional)
輸出信號(hào)
± 0 to 10 VDC, 15 bits
數(shù)字輸入/繼電器
8 (16 optional)
數(shù)字輸入
5 VDC non-isolated
繼電器
SPST Form 1A, 30V, 2A max
接口
Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
遠(yuǎn)程電源控制
Optional (IPN 782-900-017)
顯示器 
類型
1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
圖表
Rate, deviation, power or full screen numeric
一般 
功率
100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
合規(guī)性
CE, RoHS
Windows® 軟件
Included
殼體/安裝
5 1/4" half-rack

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