GⅠ、GⅡ、GⅢ型激光平面干涉儀

1. 標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），工作直徑D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

2. 第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

3. 準(zhǔn)直系統(tǒng)----------------－工作直徑Φ146mm，焦距 f = 400mm

4. 光源規(guī)格----------------－激光ZN18(He-Ne)

5. 干涉室尺寸----------------Φ480×380×285mm

選配件一：
  精密升降工作臺（適用GⅠ、GⅡ型）

用途：
主要用于平晶、平行平晶等非鍍膜面高精度平面度的測量與檢定以及儀器采用鈉光或汞光照明時(shí)的測量。

選配件二：
  透檢工作臺（適用GⅠ型）

用途：
主要用于超薄平行平板的波前誤差測量、光學(xué)平板微小楔角相對干涉測量以及光學(xué)材料折射率均勻性的偏差判斷。

選配件三：
  高反射面測量工作臺（適用GⅠ、GⅡ、GⅢ型）

用途：
主要用于鍍反射膜及高折射率材料（如硅、鍺等材料）表面精度的測量與檢定。

選配件四：
  顯示監(jiān)控系統(tǒng)（適用GⅠ型）

用途：
顯示監(jiān)控系統(tǒng)的應(yīng)用，可減輕操作者的勞動強(qiáng)度，并可實(shí)施多人判讀與分析，以達(dá)到教學(xué)與監(jiān)控的目的。

選配件五：
  計(jì)算機(jī)影像系統(tǒng)（適用GⅠ、GⅡ、GⅢ型）

用途：
影像系統(tǒng)的應(yīng)用，可將被檢測鏡面的原始資料通過計(jì)算機(jī)保存和傳輸，以達(dá)到資料存檔及遠(yuǎn)程監(jiān)控、驗(yàn)收評定質(zhì)量的目的。

選配件六：
  倍率成像測微系統(tǒng)（適用GⅠ、GⅡ、GⅢ型）

用途：
  主要用于目視精確量值的索得及小型被測件干涉條紋按要求放大測量與判讀。

技術(shù)參數(shù)：
  測微目鏡放大率15X
   倍率成像測微目鏡適用范圍見下表：