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用于材料研究的Axio Imager Vario 生物顯微鏡

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更新時間:2024-08-02 09:23:52瀏覽次數(shù):317

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介:檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓,甚至整個平板顯示器,檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的樣品高度為254 mm,橫向樣品空間為300 mm,大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩(wěn)定性。可滿足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應用要求。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。......

詳細介紹

  1. 優(yōu)勢:


    具有兩種手動機柱和一種電動機柱(配有符合工業(yè)標準的三個模式控制按鈕)可供選擇,充分利用顯微鏡的橫向樣品空間300 mm x 300 mm和樣品高度254 mm的優(yōu)勢。

    Axio Imager Vario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品,依然可以獲得高聚焦精度和可重復性。

    借助硬件自動對焦功能,可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。

    將Axio Imager Vario與LSM 900結(jié)合使用,能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品

    Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認證,并滿足5級潔凈室的應用要求。


    硬件自動對焦

    TFT顯示屏,明場,透射光,紅色、綠色和藍色子像素


    具有硬件自動對焦功能的Axio Imager Vario能夠在高達12000 µm的焦點捕獲范圍內(nèi)精準快速地聚焦反射樣品。聚焦系統(tǒng)能夠保證聚焦精度達到所使用物鏡景深的0.3倍。自動聚集功能適合于使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉相差及斜照明觀察方式的應用。

    應用


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